[發明專利]具有多種模式的虛擬檢驗系統

在審

• 申請號: 202010018889.1
• 申請日: 2015-07-22
• 公開（公告）號: CN111189848A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: B·達菲;S·巴納吉
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/88;H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種經配置以檢測樣品上的缺陷的系統，其包括：

存儲媒體，其經配置以存儲由檢驗系統產生的樣品的圖像，其中所述檢驗系統經配置以用能量掃描遍及所述樣品的物理版本同時檢測來自所述樣品的能量，由此產生所述樣品的所述圖像，且其中所述檢驗系統進一步經配置以用多種模式執行所述掃描及所述檢測；及

一或多個計算機子系統，其經配置以：

從所述存儲媒體獲取在所述樣品上的位置處用所述多種模式中的兩者或更多者產生的兩個或更多個圖像；及

基于經獲取的所述兩個或更多個圖像來確定所述位置處是否存在缺陷。

2.根據權利要求1所述的系統，其中確定是否存在所述缺陷包括：分別確定經獲取的所述兩個或更多個圖像的兩個或更多個差異圖像，分別確定所述兩個或更多個差異圖像的兩個或更多個差異圖像屬性，及基于所述兩個或更多個差異圖像屬性的組合來確定是否存在缺陷。

3.根據權利要求1所述的系統，其中確定是否存在所述缺陷包括：分別確定經獲取的所述兩個或更多個圖像的兩個或更多個圖像屬性，及基于所述兩個或更多個圖像屬性的組合來確定是否存在缺陷。

4.根據權利要求1所述的系統，其中確定是否存在所述缺陷包括：分別確定經獲取的所述兩個或更多個圖像的兩個或更多個圖像屬性，將多維閾值應用于所述兩個或更多個圖像屬性的組合。

5.根據權利要求1所述的系統，其中所述一或多個計算機子系統進一步經配置以基于對應于所述位置的所述樣品的設計的部分來確定用于確定是否存在所述缺陷的一或多個參數。

6.根據權利要求1所述的系統，其中所述一或多個計算機子系統進一步經配置以基于所述位置定位于其中的經獲取的所述兩個或更多個圖像的片段來確定用于確定是否存在所述缺陷的一或多個參數。

7.根據權利要求1所述的系統，其中所述樣品上未由所述檢驗系統檢測到缺陷。

8.根據權利要求1所述的系統，其中所述存儲媒體及所述一或多個計算機子系統并非所述檢驗系統的部分，且不具有處置所述樣品的所述物理版本的任何能力。

9.根據權利要求1所述的系統，其中所述存儲媒體及所述一或多個計算機子系統進一步配置為虛擬檢驗系統。

10.根據權利要求1所述的系統，其中掃描遍及所述樣品的所述能量包括光，其中從所述樣品檢測到的所述能量包括光，且其中所述多種模式中的至少一者使用掃描遍及所述樣品的所述光的至少一個波長，其不同于掃描遍及所述樣品的用于所述多種模式中的至少一個其它模式的所述光的至少一個波長。

11.根據權利要求1所述的系統，其中所述多種模式中的至少一者使用所述檢驗系統的照明通道，其不同于用于所述多種模式中的至少一個其它模式的所述檢驗系統的照明通道。

12.根據權利要求1所述的系統，其中所述多種模式中的至少一者使用所述檢驗系統的光圈的配置，其不同于用于所述多種模式中的至少一個其它模式的所述檢驗系統的光圈的配置。

13.根據權利要求1所述的系統，其中所述多種模式中的至少一者使用所述檢驗系統的檢測通道，其不同于用于所述多種模式中的至少一個其它模式的所述檢驗系統的檢測通道。

14.根據權利要求1所述的系統，其中所述檢驗系統進一步經配置以在所述樣品的單個檢驗過程期間執行的所述樣品的不同掃描中用所述多種模式連續地執行所述掃描及所述檢測。

15.根據權利要求1所述的系統，其中所述檢驗系統進一步經配置以在所述樣品的單個檢驗過程期間執行的所述樣品的單個掃描中用所述多種模式中的至少兩者同時執行所述掃描及所述檢測。