[發明專利]全自動修復玻璃劃痕的方法有效
| 申請號: | 202010017193.7 | 申請日: | 2020-01-08 |
| 公開(公告)號: | CN111203805B | 公開(公告)日: | 2022-02-25 |
| 發明(設計)人: | 趙裕興;王承偉;徐海賓 | 申請(專利權)人: | 蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設備有限公司 |
| 主分類號: | B24B49/12 | 分類號: | B24B49/12;B24B1/00;B24B7/24 |
| 代理公司: | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人: | 王玉國 |
| 地址: | 215021 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 全自動 修復 玻璃 劃痕 方法 | ||
1.全自動修復玻璃劃痕的方法,其特征在于:包括以下步驟:
1)用相機對玻璃拍照,識別劃痕;反射式光源照明玻璃,并入射到面陣相機中;玻璃尺寸為X英寸,采用Y英寸的相機,則鏡頭倍數小于Y/X;低倍鏡頭,焦深長,對各種厚度玻璃均可成像,選擇曝光時間和增益,調整亮度和對比度,得到玻璃數碼照片;
將照片轉化為黑白圖像,計算各橫坐標下,劃痕的白色區域的縱坐標的最大值和最小值,求出劃痕縱坐標中心;橫坐標和縱坐標對構成劃痕中心軌跡;
2)沿軌跡掃描,測量劃痕所處平面及深度;
劃痕位于上表面或下表面,選取無劃痕處任意坐標點,二維位移臺和壓電陶瓷Z軸單元移動物鏡,測試不同Z軸坐標下相機光強;光強與Z軸曲線的兩個極大值處對應的Z軸坐標,即為上下表面的焦點;二維位移臺上設置壓電陶瓷Z軸單元,構成三維運動平臺,移動帶劃痕的玻璃;多像素線陣相機探測中心光強;
采用激光掃描共聚焦裝置測試劃痕區域深度,激光掃描共聚焦裝置包含激光器、半反半透鏡、振鏡以及掃描物鏡,激光器的輸出光路上布置半反半透鏡,半反半透鏡的反射光路上依次布置振鏡和掃描物鏡,透射光路上布置成像探測模組,激光器發出激光,經過半反半透鏡反射到振鏡中,振鏡控制激光二維偏轉,經過掃描物鏡后,聚焦在二維位移臺上壓電陶瓷Z軸單元上的樣品,二維位移臺實現X-Y軸的二維移動,壓電陶瓷Z軸單元實現Z軸上下移動;激光入射到樣品后發生反射,原路返回掃描物鏡和振鏡,經過半反半透鏡后進入成像探測模組;測量得到劃痕的3D形貌,測得劃痕區域及周邊的粗糙度,區域各點的最大高度值Rp,區域各點的最小高度值Rv,劃痕峰谷值等于Rp–Rv;
根據深度判斷是否需研磨以及各坐標拋光所需時間,進而沿軌跡修復玻璃;
3)干法研磨;采用干磨型研磨片,細磨有劃痕的玻璃,用相機觀察;磨光片直徑大于劃痕寬度,按劃痕中心軌跡進行研磨,根據劃痕深度調整研磨,當影像中的劃痕寬度達到磨光片直徑時,磨光完成;
4)干法拋光;采用干型拋光片按劃痕中心軌跡進行拋光,拋光片大于研磨片,根據劃痕深度調整拋光時間,獲得鏡面玻璃。
2.根據權利要求1所述的全自動修復玻璃劃痕的方法,其特征在于:步驟1),用Otsu二值化方法將照片轉化為黑白圖像。
3.根據權利要求1所述的全自動修復玻璃劃痕的方法,其特征在于:所述成像探測模組由MCP成像探測器、光纖光學板和多行線陣相機組成,激光經過MCP成像探測器放大,光纖光學板將MCP成像探測器放大的信號無偏移地傳遞給多行線陣相機。
4.根據權利要求3所述的全自動修復玻璃劃痕的方法,其特征在于:所述MCP成像探測器將光信號轉化為電信號,電子在熒光屏上成像,光纖光學板將熒光屏上的成像傳遞到線陣相機上;
透鏡后的束腰半徑w0表示為:
式中λ和w1分別表示波長和透鏡前的入射光斑尺寸;瑞利距離z0=πw02/(λM2),M2表示光束質量因子;距離z處的腰斑半徑wz表示如下:
式中z=-zc表示束腰的坐標位置,坐標z軸沿著激光傳播方向;掃描物鏡的焦距為f,采用200mm的像距,像距遠大于f,利用高斯成像公式,物距約等于f;物鏡的放大倍數為MA=200/f,線陣相機上的光斑尺寸為MAwz;
線陣相機像素尺寸為S,x和y表示相機面上的坐標;只移動z軸,像方測到的功率與物方激光功率成正比,像方總功率為P0;當物方坐標為z時,峰值光強為Iz,入射到相機上的光斑中心的功率PS(z)表示為:
當像素尺寸S足夠大時,相機上探測到的功率PS(z)始終等于像方總功率P0,與坐標z無關;當采用單個相機像素時,PS(z)隨z軸變化,當束腰處于樣品表面時,PS(z)最大,探測出該點的高度。
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