[發(fā)明專利]激光蝕刻設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010016461.3
• 申請(qǐng)日: 2020-01-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111451652A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安珠燮;吳澤溢;韓圭完;高永煥;裵允更
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/382
• 分類號(hào): B23K26/382;B23K26/082;B23K26/064
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 陳亞男;尹淑梅

公開(kāi)了一種激光蝕刻設(shè)備。所述激光蝕刻設(shè)備用于在具有多層結(jié)構(gòu)的顯示面板中形成孔，激光蝕刻設(shè)備包括：光源，用于發(fā)射具有第一能量分布的第一激光束；以及掃描器，用于沿圓形路徑將第二激光束輻射到對(duì)象物體上，第二激光束具有不同于第一能量分布的第二能量分布。

本申請(qǐng)要求于2019年1月21日提交的第10-2019-0007581號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該韓國(guó)專利申請(qǐng)出于所有目的通過(guò)引用包含于此，如同在此進(jìn)行充分地闡述一樣。

技術(shù)領(lǐng)域

發(fā)明的示例性實(shí)施方式總體上涉及一種激光蝕刻設(shè)備，更具體地，涉及一種被構(gòu)造為通過(guò)將激光束輻射到顯示面板來(lái)形成孔的激光蝕刻設(shè)備以及使用該激光蝕刻設(shè)備的激光蝕刻方法。

背景技術(shù)

總體上，在諸如有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備的顯示面板中形成孔，其中，相機(jī)模塊或傳感器安裝在該孔中。孔通常形成在顯示面板的非顯示區(qū)域中。然而，最近由于顯示器的尺寸變窄，因此需要在顯示區(qū)域中形成孔。

在該背景技術(shù)部分中公開(kāi)的上述信息僅用于理解發(fā)明構(gòu)思的背景，因此，它可以包含不構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的信息。

發(fā)明內(nèi)容

申請(qǐng)人發(fā)現(xiàn)，如果通過(guò)使用類似鉆孔的機(jī)械方法在顯示區(qū)域中形成孔，則鉆孔部分的剖面是不均勻的，這可能干擾顯示器的觀看。此外，氧和濕氣會(huì)容易地穿過(guò)不均勻的剖面，從而使顯示質(zhì)量劣化。可選地，如果通過(guò)使用一般的激光器鉆孔，則被鉆入的該孔的尺寸會(huì)由于激光束光斑的尺寸而受到限制。因此，因?yàn)橄鄼C(jī)模塊或傳感器需要在大孔中安裝，所以會(huì)難以使用一般的激光器在多層結(jié)構(gòu)(諸如顯示面板的顯示區(qū)域)中鉆出大的孔。

根據(jù)發(fā)明的原理和示例性實(shí)施方式構(gòu)造的激光蝕刻設(shè)備和使用該激光蝕刻設(shè)備的激光蝕刻方法能夠穩(wěn)定地鉆出比激光束的光斑大的孔。例如，通過(guò)使用根據(jù)發(fā)明的一些示例性實(shí)施方式構(gòu)造的激光蝕刻設(shè)備，大且干凈的孔可以形成在顯示面板的顯示區(qū)域中，使得產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。因此，可以增強(qiáng)生產(chǎn)率，并且可以確保穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明構(gòu)思的附加特征將在下面的描述中闡述，并且部分地將通過(guò)描述而明顯，或者可以通過(guò)發(fā)明構(gòu)思的實(shí)踐而獲知。

根據(jù)發(fā)明的一個(gè)方面，激光蝕刻設(shè)備包括發(fā)射具有第一能量分布的第一激光束的光源和沿圓形路徑將第二激光束輻射到對(duì)象物體上的掃描器，第二激光束具有不同于第一能量分布的第二能量分布。

激光蝕刻設(shè)備還可以包括布置在光源與掃描器之間以將第一激光束轉(zhuǎn)換成第二激光束的衍射光學(xué)裝置，第二激光束具有線性光束分布。

第二激光束可以從衍射光學(xué)裝置發(fā)出，并且可以在由掃描器限定的圓形路徑中可旋轉(zhuǎn)。

第二激光束可以在與圓形路徑的半徑大致平行的方向上并沿圓形路徑可旋轉(zhuǎn)。

第二激光束可以具有矩形剖面。

第二激光束可以具有梯形剖面。

圓形路徑可以包括環(huán)形形狀。

掃描器可以包括透光透鏡，并且激光束的尺寸可以隨透光透鏡的數(shù)值孔徑而變化。

掃描器可以包括被構(gòu)造為在激光束的路徑中旋轉(zhuǎn)并限定圓形路徑的一對(duì)楔形透鏡。

對(duì)象物體可以包括顯示面板的顯示區(qū)域。

應(yīng)理解的是，前面的一般描述和下面的詳細(xì)描述是示例性和說(shuō)明性的，并且意圖提供對(duì)如要求保護(hù)的發(fā)明的進(jìn)一步解釋。

附圖說(shuō)明

附圖示出了發(fā)明的示例性實(shí)施例，并且與描述一起用于解釋發(fā)明構(gòu)思，包括附圖以提供對(duì)發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且附圖被包含在該說(shuō)明書中并構(gòu)成該說(shuō)明書的一部分。

圖1是其中通過(guò)根據(jù)發(fā)明的原理構(gòu)造的激光蝕刻設(shè)備而形成孔的顯示面板的示例性實(shí)施例的透視圖。