[發明專利]一種硬質合金表面氮化處理的方法

有效

• 申請號: 202010014948.8
• 申請日: 2020-01-07
• 公開（公告）號: CN111118441B
• 公開（公告）日: 2022-02-25
• 發明（設計）人: 彭繼華;曾己偉;顏炳姜;李偉秋
• 申請（專利權）人: 匯專科技集團股份有限公司;華南理工大學;科益展智能裝備有限公司廣州分公司
• 主分類號: C23C8/36
• 分類號: C23C8/36;C23C12/02
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 林德強

1.一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：包括以下步驟：

1)硬質合金表面預處理：將含鈷硬質合金進行表面除油處理，漂洗，干燥，待用；

2)硬質合金置入真空系統：將預處理后的硬質合金放入含有輔助離子源的真空處理裝置中，在離子源的輔助陽極上放置稀土金屬源；啟動裝置抽真空，加熱升溫；

3)離子滲氮：往真空處理裝置通入氬氣，開啟離子源獲得等離子束，再通入含氮氣體，開啟偏壓電源獲得偏壓電場，進行離子滲氮，表面的鈷與氮反應，得到表面鈷相氮化的硬質合金。

2.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟1)中，含鈷硬質合金為鎢鈷硬質合金。

3.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟2)中，輔助離子源選自空心陰極離子源、熱絲弧離子源、燈絲氣體離子源中的至少一種。

4.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟2)中，稀土金屬源包含鈰、鑭和鐠。

5.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟2)中，加熱升溫至100℃-400℃。

6.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟3)中，開啟離子源調節等離子束電流為90A～150A。

7.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟3)中，含氮氣體是由體積百分比為0～25％的氫氣和余量的氮氣組成的氣體。

8.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟3)中，開啟偏壓電源調節偏壓為200V～1000V；偏壓電源為單極脈沖偏壓，偏壓電源的頻率為35KHz～45KHz，偏壓電源的占空比為45％～55％。

9.根據權利要求1所述的一種硬質合金表面氮化處理的方法，其特征在于：所述步驟3)中，離子滲氮的時間為2h～6h。

10.一種如權利要求1～9任一項所述方法處理得到的硬質合金。