[發明專利]一種電子顯微鏡外罩式真空箱裝置在審
| 申請號： | 202010014354.7 | 申請日： | 2020-01-07 |
| 公開（公告）號： | CN111128653A | 公開（公告）日： | 2020-05-08 |
| 發明（設計）人： | 楊艷娜;郭新勇;張康;李盛;董寶杰 | 申請（專利權）人： | 河南河大科技發展有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/18 | 分類號： | H01J37/18;H01J37/26 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 475000 河南*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電子顯微鏡 外罩 空箱 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種電子顯微鏡外罩式真空箱裝置，該裝置包括真空箱（1）、機械泵（2）、機械手（3）、電子顯微鏡（4）。
2.根據權利要求書1所述的真空箱（1），其材質是透明防震玻璃，尺寸為3m×2.5m×3.5m，將電子顯微鏡（4）主機密封在其中，除檢修外，都維持低真空狀態。
3.在真空箱側部設計真空交換室，用來取換樣品而不用破壞整體真空。
4.根據權利要求書1所述的機械泵（2），為真空箱（1）抽真空，可根據實際情況選用更多的機械泵（2）組成泵組，以提升抽真空速度。
5.根據權利要求書1所述的機械手（3），用于在真空箱（1）內將樣品裝入/移出電鏡。
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