[發(fā)明專(zhuān)利]一種二次電子發(fā)射性能參數(shù)測(cè)試裝置及測(cè)試方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010013951.8
• 申請(qǐng)日: 2020-01-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111077176A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閆保軍;劉術(shù)林;溫凱樂(lè);王玉漫;張斌婷;谷建雨
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/2251
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/2251
• 代理公司: 北京君尚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11200
• 代理人: 司立彬

1.一種二次電子發(fā)射性能參數(shù)測(cè)試裝置，其特征在于，包括

電子束產(chǎn)生系統(tǒng)，通過(guò)法蘭接口與真空室連接，包括真空室內(nèi)的電子槍及真空室外的電子槍控制器；

球形電子收集器，包括三種彼此絕緣的球形結(jié)構(gòu)，由外向內(nèi)依次是：球形收集極、球形抑制極和球形接地極；球形電子收集器固定在真空室內(nèi)的電子收集器固定裝置上，其上方開(kāi)孔作為入射電子孔，電子槍口由該入射電子孔進(jìn)入球形電子收集器內(nèi)部，球形電子收集器的下方開(kāi)孔作為樣品臺(tái)進(jìn)出孔；

微弱信號(hào)測(cè)量系統(tǒng)，包括分別與球形收集極、球形抑制極、球形接地極和樣品臺(tái)連接的電流計(jì)或電流-電壓放大器，用于采集球形收集極、球形抑制極、球形接地極和樣品臺(tái)的電流；

樣品臺(tái)升降旋轉(zhuǎn)裝置，包括安裝在真空室外的磁流體控制器、真空室內(nèi)的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及與之連接的齒輪旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，樣品臺(tái)與齒輪旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，樣品臺(tái)從球形電子收集器下方開(kāi)孔處進(jìn)入其內(nèi)部；磁流體控制器通過(guò)螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及與之連接的齒輪旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)上下移動(dòng)及旋轉(zhuǎn)；樣品臺(tái)一面用于放置待測(cè)樣品，另一面上固定一次電子收集器；

樣品表面電位中和系統(tǒng)，包括表面電位檢測(cè)裝置、消除表面帶正電位裝置和消除表面帶負(fù)電位裝置。

2.如權(quán)利要求1所述的二次電子發(fā)射性能參數(shù)測(cè)試裝置，其特征在于，所述球形抑制極由開(kāi)孔率為70％～98％的不銹鋼網(wǎng)制作而成；所述球形接地極由開(kāi)孔率為70％～98％的不銹鋼網(wǎng)制作而成。

3.如權(quán)利要求1所述的二次電子發(fā)射性能參數(shù)測(cè)試裝置，其特征在于，所述電子收集器固定裝置中間開(kāi)孔，用于樣品臺(tái)上下移動(dòng)通過(guò)；所述電子收集器固定裝置上有三個(gè)圓環(huán)槽，用于分別固定球形收集極、球形抑制極和球形接地極；所述圓環(huán)槽底部均開(kāi)有小孔，用于與球形收集極、球形抑制極和球形接地極連接的導(dǎo)線(xiàn)穿過(guò)。

4.如權(quán)利要求1所述的二次電子發(fā)射性能參數(shù)測(cè)試裝置，其特征在于，所述一次電子收集器是采用倒錐形結(jié)構(gòu)的法拉第杯。

5.如權(quán)利要求1所述的二次電子發(fā)射性能參數(shù)測(cè)試裝置，其特征在于，所述球形收集極被若干個(gè)條帶狀陶瓷環(huán)隔離，形成多個(gè)環(huán)形收集極，各環(huán)形收集極之間相互絕緣；所述微弱信號(hào)測(cè)量系統(tǒng)分別通過(guò)一電流計(jì)或電流-電壓放大器與每一環(huán)形收集極連接，用于采集每一環(huán)形收集極的電流。