[發(fā)明專利]測(cè)量裝置及方法、曝光裝置及方法、以及器件制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010012207.6
• 申請(qǐng)日: 2015-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111045302B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上田哲寬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類(lèi)號(hào): G03F9/00
• 分類(lèi)號(hào): G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;閆劍平

1.一種測(cè)量裝置，其特征在于，

具有：

照射系統(tǒng)，其相對(duì)于設(shè)于沿第一方向移動(dòng)的物體的格子標(biāo)記照射測(cè)量光；

物鏡光學(xué)元件，其使基于所述測(cè)量光的來(lái)自所述格子標(biāo)記的衍射光中的0次光衰減并且使所述0次光以外的光偏轉(zhuǎn)或衍射；以及

受光系統(tǒng)，其接受通過(guò)所述物鏡光學(xué)元件而偏轉(zhuǎn)或衍射的所述0次光以外的光，

所述照射系統(tǒng)一邊將所述測(cè)量光沿所述第一方向移動(dòng)，一邊向沿所述第一方向移動(dòng)的所述格子標(biāo)記照射所述測(cè)量光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件具有使所述衍射光中的0次光衰減的第一區(qū)域、和使所述0次光以外的光偏轉(zhuǎn)或衍射的第二區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述照射系統(tǒng)經(jīng)由所述物鏡光學(xué)元件的所述第一區(qū)域?qū)⑺鰷y(cè)量光向所述格子標(biāo)記照射。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件在所述第一區(qū)域的周?chē)哂兴龅诙^(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件在與所述格子標(biāo)記的周期方向平行的方向上，在所述第一區(qū)域的一側(cè)設(shè)有第一光學(xué)元件，在所述第一區(qū)域的另一側(cè)設(shè)有第二光學(xué)元件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件構(gòu)成為能夠繞所述測(cè)量光的光軸旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件具有多個(gè)棱鏡元件，

所述多個(gè)棱鏡元件使基于所述測(cè)量光的來(lái)自所述格子標(biāo)記的所述衍射光朝向所述受光系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件具有多個(gè)反射鏡元件，

所述多個(gè)反射鏡元件使基于所述測(cè)量光的來(lái)自所述格子標(biāo)記的所述衍射光朝向所述受光系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件具有多個(gè)透射型衍射光柵，

所述多個(gè)透射型衍射光柵使基于所述測(cè)量光的來(lái)自所述格子標(biāo)記的所述衍射光朝向所述受光系統(tǒng)衍射。

10.一種曝光裝置，其特征在于，

具備：

權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置；

位置控制裝置，其基于所述測(cè)量裝置的輸出來(lái)控制所述物體的位置；以及

圖案形成裝置，其將照射能量束向所述物體照射來(lái)形成規(guī)定的圖案。

11.一種曝光裝置，其特征在于，

具備權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置,

所述曝光裝置一邊基于所述測(cè)量裝置的輸出控制所述物體的位置，一邊將照射能量束向所述物體照射而在所述物體上形成規(guī)定的圖案。

12.一種測(cè)量方法，其對(duì)設(shè)于物體的格子標(biāo)記的位置信息進(jìn)行測(cè)量，所述測(cè)量方法的特征在于，

包括如下的步驟：

通過(guò)照射系統(tǒng)相對(duì)于設(shè)于沿第一方向移動(dòng)的所述物體的所述格子標(biāo)記照射測(cè)量光；

通過(guò)與所述物體相對(duì)的物鏡光學(xué)元件使基于所述測(cè)量光的來(lái)自所述格子標(biāo)記的衍射光中的0次光衰減并且使所述0次光以外的光偏轉(zhuǎn)或衍射；以及

通過(guò)受光系統(tǒng)接受由所述物鏡光學(xué)元件偏轉(zhuǎn)或衍射的所述0次光以外的光，

所述照射系統(tǒng)一邊將所述測(cè)量光沿所述第一方向移動(dòng)，一邊向沿所述第一方向移動(dòng)的所述格子標(biāo)記照射所述測(cè)量光。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)量方法，其特征在于，

所述物鏡光學(xué)元件具有使所述衍射光中的0次光衰減的第一區(qū)域、和使所述0次光以外的光偏轉(zhuǎn)或衍射的第二區(qū)域。