[發(fā)明專利]一種基底表面納米顆粒薄膜的組裝方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010011595.6 | 申請(qǐng)日: | 2020-01-06 |
| 公開(公告)號(hào): | CN111172501A | 公開(公告)日: | 2020-05-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張雷;邊寶茹;杜娟;張健;劉平 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所 |
| 主分類號(hào): | C23C14/28 | 分類號(hào): | C23C14/28;C23C14/08;C23C14/54;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 寧波元為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人: | 單英 |
| 地址: | 315201 浙江*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 基底 表面 納米 顆粒 薄膜 組裝 方法 | ||
本發(fā)明提供了一種基底表面納米顆粒薄膜的組裝方法。該方法首先準(zhǔn)備所需的納米顆粒;然后,將所述納米顆粒均勻物理分散在溶劑中,進(jìn)行冷卻,使溶劑冷卻為固態(tài),得到包含所述納米顆粒的固體,將該固體作為固態(tài)靶;最后,采用激光照射所述固態(tài)靶,溶劑吸收激光能量氣化,在氣相溶劑作用下所述納米顆粒以一定速率物理沉積到基底上。該方法能夠快速組裝形成均勻、致密的納米顆粒薄膜,并且易于獲得單層、大面積的納米顆粒薄膜。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于二維納米顆粒薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基底表面納米顆粒薄膜的組裝方法。
背景技術(shù)
納米材料經(jīng)過(guò)多年的積累與不斷發(fā)展,已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)藥,新能源,傳感器,新環(huán)保,軍工等領(lǐng)域,并且由于其獨(dú)特的表面和界面效應(yīng)、小尺寸效應(yīng)、量子尺寸效應(yīng)、宏觀量子隧道效應(yīng)等特性,還將被應(yīng)用于更加廣闊的生活場(chǎng)景中。其中,納米顆粒可以通過(guò)一定的組裝方式形成具備不同特性的二維或三維材料,納米顆粒種類選擇上的多樣性以及其本身組裝結(jié)構(gòu)上的差異所導(dǎo)致的多變、可復(fù)合特性使之在更傾向于小型化、模塊化、多功能化的未來(lái)應(yīng)用中具有更大的競(jìng)爭(zhēng)力。
目前,將納米顆粒組裝為二維納米顆粒膜的方法為液相法組裝,即納米顆粒均勻分散在溶劑中形成低濃度的納米顆粒溶液,通過(guò)液相溶劑的緩慢揮發(fā),納米顆粒在毛細(xì)管力、靜電力、重力的作用下在軟膜板如高分子膠束膜、無(wú)模板如液-空界面、硬模板如Si片上形成一層有序排列緊密的顆粒膜。該方法一般經(jīng)歷時(shí)間長(zhǎng),需要幾天甚至幾個(gè)月時(shí)間,且往往得到的薄膜厚度不可控,普遍為多層納米顆粒膜;而短時(shí)間的組裝會(huì)導(dǎo)致納米顆粒薄膜出現(xiàn)顆粒分布不均勻的現(xiàn)象;并且經(jīng)軟膜板、無(wú)模板法得到的納米顆粒膜還需經(jīng)過(guò)精細(xì)轉(zhuǎn)移至所需基底表面,在此過(guò)程中由于顆粒膜中顆粒間相互作用力不強(qiáng),膜結(jié)構(gòu)容易被破壞。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述技術(shù)現(xiàn)狀,本發(fā)明提供一種基底表面納米顆粒薄膜的組裝方法,可在較短的時(shí)間獲得均勻、致密的納米顆粒薄膜。
本發(fā)明實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的所采用的技術(shù)方案為:一種基底表面納米顆粒薄膜的組裝方法,所述薄膜由納米顆粒組成,其特征是,包括如下步驟:
(1)準(zhǔn)備所需的納米顆粒;
(2)將所述納米顆粒均勻物理分散在溶劑中,然后進(jìn)行冷卻,使溶劑冷卻為固態(tài),得到包含所述納米顆粒的固體,將該固體作為固態(tài)靶;
(3)采用激光照射所述固態(tài)靶,溶劑吸收激光能量氣化,在氣相溶劑作用下所述納米顆粒以一定速率物理沉積到基底上。
所述納米顆粒不限,包括Fe3O4、Fe2O3、FePt、Au、Ag、GdS、GdSe、SiO2等中的一種或多種。
所述溶劑用于分散所述納米顆粒,所述溶劑種類不限,包括有機(jī)溶劑與無(wú)機(jī)溶劑,例如水、乙醇、丙酮、甲苯、己烷、1-十八烯等中的一種或兩種混合液,優(yōu)選納米顆粒在其中具有良好分散性的溶劑。
所述納米顆粒分散于溶劑中得到的納米顆粒濃度不限,作為優(yōu)選,納米顆粒的濃度為1mg/ml~30mg/ml。
所述基底不限,包括Si、SiO2、STO、ITO、PET、PP、PE、AAO、碳膜等中的一種或多種。
所述步驟(1)中,納米顆粒的來(lái)源不限,可以市售獲得,或者通過(guò)現(xiàn)有技術(shù)中的納米顆粒組裝方法制得。
本發(fā)明采用激光氣相沉積法,直接選用納米顆粒,將納米顆粒物理分散在溶劑中形成高濃度的納米顆粒溶液,然后冷凍成固態(tài)靶,利用激光照射該固態(tài)靶,由于溶劑的包覆,激光能量主要作用于溶劑,溶劑在熱效應(yīng)作用下氣化,而納米顆粒結(jié)構(gòu)與化學(xué)組成未發(fā)生變化,在溶劑氣化作用下納米顆粒直接沉積到基底上形成薄膜。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下有益效果:
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C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
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C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





