[發明專利]一種應用于真空擴散焊接中間過渡層的制備方法

有效

• 申請號: 202010008991.3
• 申請日: 2020-01-06
• 公開（公告）號: CN111168182B
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 林鈺;唐江;滕海山;陳杰;吳小芳;楊先;石登明
• 申請（專利權）人: 中航力源液壓股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23G1/02;C23G5/00
• 代理公司: 杭州新源專利事務所(普通合伙) 33234
• 代理人: 鄭雙根

1.一種應用于真空擴散焊接中間過渡層的制備方法，其特征在于：包括以下步驟，

a、將工件放入汽油中浸泡20-30min，得A品，

b、清洗A品1-3min，得B品，

c、用15%-20%濃度的HNO₃溶液酸洗B品1-2min，得C品，

d、清洗C品，得D品，

e、3%-5%濃度的HCl溶液酸洗D品1-2min，得E品，

f、清洗E品，得F品，

g、酒精清洗F品，得G品，

h、干燥G品，得H品，

i、先將H品掛到濺射腔體內的工件架上；再用吸塵器清除濺射腔體內的灰塵；再對濺射腔體抽真空；使濺射腔體內的真空度≤5.0×10^-3 Pa；再利用加熱管使濺射腔體內的溫度升到100℃，保溫，直至使濺射腔體內各處溫度均勻；得I品，

j、用霍爾源清洗I品，得J品，

k、離子轟擊J品，使J品活化，得K品，

l、K品預鍍膜，得L品，

m、L品鍍膜，得成品；

所述的步驟h，是將G品先進行脫水，再進行吹干，得H品；

所述的步驟d，是用自來水噴淋C品，得D品；

所述的步驟f，是先用自來水噴淋E品3min，得E1品，再將E1品用去離子水漂洗1-2min，得F品；

所述的步驟g，是用酒精超聲波清洗F品兩次，每次時間8-12min，得G品；

所述步驟j，是先向濺射腔體內通入氬氣，直至濺射腔體內的氣壓達到0.45Pa；然后以霍爾源的電源輝光清洗I品，霍爾源功率1.4KW；得J品；

所述的步驟k，是先將濺射腔體內的氣壓調節至0.6Pa；再啟動工件架，使工件架以10-20度/每秒的速度轉動；再調節偏壓，使金屬靶的直流電源功率達到3.2KW；再打開金屬靶擋板，使濺射銅離子轟擊到J品，使J品活化；得K品；

所述的步驟l，是先將濺射腔體內的氣壓調節至0.6Pa；再調節偏壓，使金屬靶的直流電源功率達到3.2KW；再在150-180min內向工件表面預鍍銅，得L品；

所述步驟m，是先將濺射腔體內的氣壓調節至0.6Pa；再調節偏壓，使金屬靶直流電源功率達到3.2KW，使L品表面開始沉積銅層，銅層厚度達到7-9μm后，得L1品；再關閉金屬靶直流電源、偏壓、金屬靶擋板和加熱管；濺射腔體內溫度冷卻至60℃以下后，得成品。