[發(fā)明專利]酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010008890.6 | 申請(qǐng)日： | 2020-01-06 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111455388A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-07-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李虹儀;石育旻;陳培珊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 達(dá)興材料股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23F1/18 | 分類號(hào)： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 孫梵 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼： | 臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 酸性 過(guò)氧化氫 水溶液 組合 | ||
一種酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物，包含過(guò)氧化氫、酸堿調(diào)整劑以及氨基酸。酸堿調(diào)整劑包含酸及有機(jī)堿，氨基酸具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)，酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物的酸堿值大于或等于3.5且小于或等于4.6，基于酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物為100重量百分比，酸堿調(diào)整劑的含量為10重量百分比至35重量百分比，氨基酸的含量為0.08重量百分比至氨基酸的溶解度。藉此，有利于提升過(guò)氧化氫的穩(wěn)定性，并有利于使用萃取方式除去金屬離子以進(jìn)行廢液處理或重新使用。
【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉及一種過(guò)氧化氫水溶液組合物，且特別是涉及一種酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物。
【背景技術(shù)】
過(guò)氧化氫具有很強(qiáng)的金屬氧化性，常作為金屬表面處理劑或是蝕刻液中的氧化劑，但由于過(guò)氧化氫具有易分解的特性，在遇熱、遇堿或混入金屬離子時(shí)，易加速過(guò)氧化氫的分解速度，進(jìn)而造成大量氣體產(chǎn)生而有爆炸危險(xiǎn)。
在使用蝕刻液進(jìn)行蝕刻時(shí)，被蝕刻物中的金屬溶解后會(huì)以離子型態(tài)(即形成金屬離子)進(jìn)入蝕刻液中，而加速過(guò)氧化氫的分解，導(dǎo)致蝕刻液的蝕刻速率及質(zhì)量隨著金屬離子濃度的升高而無(wú)法控制，嚴(yán)重者甚至可能導(dǎo)致爆炸。如此一來(lái)，使用者需在蝕刻液到達(dá)耐受金屬離子濃度時(shí)進(jìn)行更換，以確保蝕刻質(zhì)量與安全性，因而不利于降低生產(chǎn)成本，且會(huì)產(chǎn)生大量廢液。
為延長(zhǎng)使用蝕刻液的壽命，可在蝕刻液中加入穩(wěn)定劑，例如無(wú)機(jī)磷酸鹽、有機(jī)磷酸或含多官能基羧酸等穩(wěn)定劑，以提升過(guò)氧化氫的穩(wěn)定性，前述穩(wěn)定劑大多是利用穩(wěn)定劑與金屬離子產(chǎn)生螯合而減緩過(guò)氧化氫的分解速率。
然而，當(dāng)穩(wěn)定劑對(duì)金屬離子的螯合能力良好，雖然可提升過(guò)氧化氫的穩(wěn)定性，但當(dāng)蝕刻液達(dá)到耐受金屬離子濃度而需更換時(shí)，此蝕刻液無(wú)法藉由萃取方法直接將金屬離子有效并快速移除再進(jìn)行廢液處理或重新使用，只能稀釋后添加混凝劑進(jìn)行化學(xué)混凝處理，導(dǎo)致產(chǎn)生的廢液量大增，對(duì)環(huán)境不友善。
【發(fā)明內(nèi)容】
本發(fā)明的一目的是提供一種酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物，藉此，有利于提升過(guò)氧化氫的穩(wěn)定性，并有利于使用萃取方式除去金屬離子以進(jìn)行廢液處理或重新使用。
依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式，提供一種酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物，包含過(guò)氧化氫、酸堿調(diào)整劑以及氨基酸。酸堿調(diào)整劑包含酸及有機(jī)堿。氨基酸具有如式(I)所示的結(jié)構(gòu)：
CH3(CH2)mS(CH2)n-CH(NH2)-COOH (I)，
其中，m為0至1的整數(shù)，n為1至3的整數(shù)，酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物的酸堿值大于或等于3.5且小于或等于4.6，基于酸性過(guò)氧化氫水溶液組合物為100重量百分比，酸堿調(diào)整劑的含量為10重量百分比至35重量百分比，氨基酸的含量為0.08重量百分比至氨基酸的溶解度。
【附圖說(shuō)明】
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，所附圖式的說(shuō)明如下：
圖1為實(shí)施例2～4以及比較例11的衰減率與pH值的關(guān)系圖；
圖2為實(shí)施例5～8的衰減率與甲硫氨酸的含量的關(guān)系圖；以及
圖3為甲硫氨酸不同添加量配合不同pH值時(shí)過(guò)氧化氫衰減率的評(píng)斷結(jié)果。
【具體實(shí)施方式】
本發(fā)明中，有時(shí)以鍵線式(skeleton formula)表示化合物結(jié)構(gòu)，此種表示法可以省略碳原子、氫原子以及碳?xì)滏I。倘若，結(jié)構(gòu)式中有明確繪出官能基的，則以繪示者為準(zhǔn)。
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