[發明專利]加工裝置

有效

• 申請號: 202010008612.0
• 申請日: 2020-01-06
• 公開（公告）號: CN111451902B
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: 服部真人
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B55/12;B24B7/22;B24B47/20;B24B41/06;B24B55/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

提供加工裝置，將被加工物的清洗時所用的二流體快速地排出到加工室的外部。在從與保持面(50a)垂直的方向傾斜的噴嘴(72)朝向卡盤工作臺(5)所保持的被加工物(W)的上表面(Wa)噴射二流體(M)而對被加工物(W)的上表面(Wa)進行清洗時，利用配設于卡盤工作臺(5)與分隔板(161)之間的氣液分離單元(70)的頂板(700)及側板(701)將在被加工物(W)的上表面(Wa)上反射而朝向分隔板(161)的方向的二流體(M)接住并從配設于加工室(16)的底部的排出口(162)排出，從而防止二流體(M)成為噴霧而擴散到加工室(16)的內部的空間，削減二流體(M)的排出所花費的時間。

技術領域

本發明涉及對被加工物進行加工的加工裝置。

背景技術

如專利文獻1所示，對被加工物進行加工的加工裝置具有清洗單元，該清洗單元用于在被加工物的加工后朝向被加工物噴射混合有水和空氣的二流體而對被加工物進行清洗。

在使用了上述清洗單元的被加工物的清洗中，從借助移動單元從待機位置移動至清洗位置的二流體噴嘴朝向被加工物噴送二流體。從二流體噴嘴噴送的二流體的霧向加工室的內部的空間飛散，隨著時間經過而從配設于加工室的排出口等排出到加工室的外部。如專利文獻2所示，還存在一種加工裝置，其從配設于加工室的供氣風扇對加工室的內部進行送風，從而將從二流體噴嘴噴射而飛散到加工室的內部的霧強制性地排出到加工室的外部。

專利文獻1：日本特開2011-200785號公報

專利文獻2：日本特開2011-243833號公報

在利用二流體對被加工物進行清洗之后，定位于作為卡盤工作臺的上方的清洗位置的清洗單元暫時從卡盤工作臺的上方退避而移動至待機位置，但在使清洗單元移動至待機位置之前，需要使從二流體噴嘴噴出的二流體的噴霧從排出口等排出而從加工室的內部去除。其他驅動機構則待機直至清洗單元移動至待機位置為止，因此清洗單元向待機位置的移動成為障礙，例如會妨礙向作為下一工序的將清洗后的被加工物從卡盤工作臺取下的作業等的進展。因此，存在如下的問題：清洗單元向待機位置的移動導致被加工物的加工作業整體所花費的時間延長，效率較低。

另外，關于通過使用上述那樣的排氣風扇的送風將從二流體噴嘴噴射而飛散到加工室的內部的霧強制性地排氣的清洗單元，需要在加工裝置中配設排氣風扇及將排氣風扇和清洗單元連結的管道等，磨削裝置內部的空間被排氣風扇及管道等占據，并且磨削裝置整體的大小會增大。即，本發明要解決的課題是不借助大規模的排氣風扇及管道等而快速地將在被加工物的清洗時從二流體噴嘴噴射而飛散到加工室內部的二流體排出到加工室的外部。

發明內容

本發明提供對被加工物進行加工的加工裝置。

本發明是加工裝置，其具有：卡盤工作臺，其具有對被加工物進行保持的保持面；加工單元，其利用加工器具對該卡盤工作臺所保持的被加工物的上表面進行加工；清洗單元，其具有朝向該被加工物的上表面噴射將空氣和水混合而得的二流體的噴嘴，通過該噴嘴所噴射的二流體對該被加工物的上表面進行清洗；以及水箱，其圍繞該卡盤工作臺，將水接住并從排水口排出，其中，該清洗單元具有：氣液分離單元，其與該卡盤工作臺相鄰，將該噴嘴所噴射的該二流體接住并進行氣液分離；以及移動單元，其使該噴嘴水平移動至該保持面的上方的區域的內外，該噴嘴的噴射方向從與該保持面垂直的方向傾斜，該二流體從該保持面的中心側朝向該氣液分離單元，該氣液分離單元具有：頂板；從該頂板垂下的多個側板；以及供該二流體進入的入口，從該入口進入的該二流體與該側板和該頂板接觸而氣液分離成水和空氣，使該空氣向大氣開放，使該水從該排水口排出。

優選上述氣液分離單元具有從該入口的上邊向下方向延伸的檐，從該入口進入的該二流體依次與該側板、該頂板、該檐接觸，形成該二流體的旋渦而進行氣液分離。

優選上述氣液分離單元在遠離該入口的位置具有容積大的區域，從該入口進入的該二流體在該大的區域中使流速降低而進行氣液分離。