[發(fā)明專利]一種掩膜板及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010006257.3
• 申請日: 2020-01-03
• 公開（公告）號: CN111088474B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張元其;杜森;羅昶;嵇鳳麗;楊曉宇;徐倩
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種掩膜板，其特征在于，包括：

框架；所述框架包括多個邊框，多個所述邊框依次首尾相接圍設(shè)成具有第一鏤空區(qū)的所述框架；

至少一個掩膜片；所述掩膜片跨過所述框架的鏤空區(qū)，與所述框架的第一邊框固定；其中，多個所述邊框包括所述第一邊框；所述掩膜片具有圖案區(qū)和非圖案區(qū)，所述圖案區(qū)包括至少一個蒸鍍孔，所述非圖案區(qū)用于與所述第一邊框固定；沿垂直所述第一邊框且垂直所述框架厚度的方向，所述圖案區(qū)的長度大于所述第一鏤空區(qū)的長度；

遮擋板；所述遮擋板具有多個第二鏤空區(qū)，沿所述框架厚度方向，所述第二鏤空區(qū)的正投影位于所述第一鏤空區(qū)的正投影范圍內(nèi)；所述遮擋板設(shè)置于所述掩膜片靠近所述框架的一側(cè)，且所述遮擋板固定于所述框架上；所述框架的正投影的內(nèi)邊緣位于所述遮擋板的正投影的范圍內(nèi)；

所述框架與所述遮擋板重疊的第一區(qū)域的厚度小于所述框架中用于與所述掩膜片固定的第二區(qū)域的厚度，所述第二區(qū)域靠近所述框架的外邊緣；

所述第二區(qū)域的厚度與所述第一區(qū)域的厚度之差等于所述遮擋板的厚度；

所述遮擋板包括多個邊框遮擋條，多個所述邊框遮擋條與多個所述邊框一一對應(yīng)；

所述邊框遮擋條在所述邊框上的投影位于與其對應(yīng)的所述邊框所在區(qū)域內(nèi)；且所述掩膜片的所述非圖案區(qū)在所述邊框上的正投影的內(nèi)邊緣位于所述邊框遮擋條在所述邊框上的正投影內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述框架具有第一厚度區(qū)域和第二厚度區(qū)域，所述第一厚度區(qū)域的第一厚度小于所述第二厚度區(qū)域的第二厚度；

所述第一厚度區(qū)域包括所述第一區(qū)域以及用于容置遮擋板引腳的第三區(qū)域，所述第一區(qū)域與所述第三區(qū)域連接；遮擋板引腳用于在固定所述遮擋板的過程中與張網(wǎng)機固定；

所述第二厚度區(qū)域包括所述第二區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于，多個所述邊框還包括至少兩個第二邊框；所述遮擋板與所述第一邊框和所述第二邊框固定；

所述第二邊框的厚度為第一厚度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一厚度區(qū)域還包括用于裝配所述遮擋板的裝配余量區(qū)域，所述裝配余量區(qū)域位于所述第一區(qū)域和所述第二厚度區(qū)域之間，以及位于所述第三區(qū)域與所述第二厚度區(qū)域之間；所述裝配余量區(qū)域與所述第一區(qū)域和所述第三區(qū)域連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板上設(shè)置有對位孔，所述對位孔與所述掩膜片和所述遮擋板無交疊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述框架和所述遮擋板的材料為鐵鎳合金或不銹鋼；

所述掩膜片的材料為鐵鎳合金。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述框架和所述遮擋板的固定方式為焊接固定；

所述框架和所述掩膜片的固定方式為焊接固定。

8.一種掩膜板的制作方法，用于制作如權(quán)利要求1～7任一項所述的掩膜板，其特征在于，包括：

將遮擋板張網(wǎng)并焊接在框架的第一區(qū)域，并且，所述框架的正投影的內(nèi)邊緣位于所述遮擋板的正投影的范圍內(nèi)；所述框架包括多個邊框，多個所述邊框依次首尾相接圍設(shè)成具有第一鏤空區(qū)的所述框架；所述遮擋板具有多個第二鏤空區(qū)，沿所述框架厚度方向，所述第二鏤空區(qū)的正投影位于所述第一鏤空區(qū)的正投影范圍內(nèi)；

將掩膜片張網(wǎng)并焊接在所述框架的第一邊框的第二區(qū)域，且所述掩膜片與所述遮擋板位于所述框架的同一側(cè)；其中，多個所述邊框包括所述第一邊框；所述第一區(qū)域的厚度小于所述第二區(qū)域的厚度；

所述遮擋板包括多個邊框遮擋條以及位于每個所述邊框遮擋條外側(cè)的至少一個遮擋板引腳；

所述框架具有第一厚度區(qū)域和第二厚度區(qū)域，所述第一厚度區(qū)域的第一厚度小于所述第二厚度區(qū)域的第二厚度；所述第一厚度區(qū)域包括所述第一區(qū)域以及用于容置遮擋板引腳的第三區(qū)域，所述第一區(qū)域與所述第三區(qū)域連接；所述第二厚度區(qū)域包括所述第二區(qū)域；

將遮擋板張網(wǎng)并焊接在框架的第一區(qū)域，包括：

通過張網(wǎng)機將所述遮擋板的引腳固定并拉伸，將所述遮擋板置于框架上，使所述邊框遮擋條位于第一區(qū)域，使所述引腳位于第三區(qū)域，將所述邊框遮擋條焊接在對應(yīng)的邊框上。