[發明專利]一種激光熱模光刻膠用顯影液及其制備方法

在審

• 申請號: 202010000989.1
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN111580357A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 王正偉;魏勁松;王陽;張奎;陳國東
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于：所述的顯影液由一種或多種氧化性離子和酸性溶液組成，各物質濃度配比為氧化性離子0.1-3mol/L、酸性溶液0-3mol/L。

2.根據權利要求1所述的激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于，所述的氧化性離子和濃度是高錳酸根離子(0.1-3mol/L)、重鉻酸根離子(0.1-3mol/L)、高氯酸根離子(0.1-3mol/L)、三價鐵離子(0.1-3mol/L)和/或銅離子(0.1-3mol/L)。

3.根據權利要求1所述的激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于，所述的酸性溶液及濃度是硫酸(0-1.5mol/L)、硝酸(0-3mol/L)、高氯酸(0-1.5mol/L)和/或鹽酸(0-3mol/L)。

4.根據權利要求1所述的激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于，所述的熱模光刻膠材料是Te基硫化物相變材料。

5.制備權利要求1-4任一所述的激光熱模光刻膠用顯影液的方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

第一步：將含有氧化性離子固體或溶液和一元或多元酸性溶液按照計量配制；

第二步：溶解稀釋含有氧化性離子的固體或溶液后，不斷攪拌，用膠頭滴管加入酸性溶液調節PH值為1-6，；

第三步：將第二步得到的混合物進行過濾，得到所述的激光熱模光刻膠用顯影液。

6.根據權利要求5所述的制備激光熱模光刻膠用顯影液的方法，其特征在于，所述攪拌為在常溫、常壓下進行機械攪拌或磁力攪拌。

7.根據權利要求5所述的制備激光熱模光刻膠用顯影液的方法，其特征在于，所述過濾次數至少2次，采用的過濾器的微濾膜孔徑為0.08-0.3μm。