[發明專利]一種激光熱模光刻膠用顯影液及其制備方法在審
| 申請號： | 202010000989.1 | 申請日： | 2020-01-02 |
| 公開（公告）號： | CN111580357A | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發明（設計）人： | 王正偉;魏勁松;王陽;張奎;陳國東 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 張寧展 |
| 地址： | 201800 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光 光刻 顯影液 及其 制備 方法 | ||
1.一種激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于：所述的顯影液由一種或多種氧化性離子和酸性溶液組成，各物質濃度配比為氧化性離子0.1-3mol/L、酸性溶液0-3mol/L。
2.根據權利要求1所述的激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于，所述的氧化性離子和濃度是高錳酸根離子(0.1-3mol/L)、重鉻酸根離子(0.1-3mol/L)、高氯酸根離子(0.1-3mol/L)、三價鐵離子(0.1-3mol/L)和/或銅離子(0.1-3mol/L)。
3.根據權利要求1所述的激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于，所述的酸性溶液及濃度是硫酸(0-1.5mol/L)、硝酸(0-3mol/L)、高氯酸(0-1.5mol/L)和/或鹽酸(0-3mol/L)。
4.根據權利要求1所述的激光熱模光刻膠用顯影液，其特征在于，所述的熱模光刻膠材料是Te基硫化物相變材料。
5.制備權利要求1-4任一所述的激光熱模光刻膠用顯影液的方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：
第一步：將含有氧化性離子固體或溶液和一元或多元酸性溶液按照計量配制；
第二步：溶解稀釋含有氧化性離子的固體或溶液后，不斷攪拌，用膠頭滴管加入酸性溶液調節PH值為1-6，；
第三步：將第二步得到的混合物進行過濾，得到所述的激光熱模光刻膠用顯影液。
6.根據權利要求5所述的制備激光熱模光刻膠用顯影液的方法，其特征在于，所述攪拌為在常溫、常壓下進行機械攪拌或磁力攪拌。
7.根據權利要求5所述的制備激光熱模光刻膠用顯影液的方法，其特征在于，所述過濾次數至少2次，采用的過濾器的微濾膜孔徑為0.08-0.3μm。
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