[發(fā)明專(zhuān)利]基于空芯光子晶體光纖的超連續(xù)譜激光光源及檢測(cè)系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010000758.0
• 申請(qǐng)日: 2020-01-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110943360A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙曉杰;歐志龍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 英諾激光科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01S3/067
• 分類(lèi)號(hào): H01S3/067;H01S3/094;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市精英專(zhuān)利事務(wù)所 44242
• 代理人: 鄧星文

1.一種基于空芯光子晶體光纖的超連續(xù)譜激光光源，其特征在于，包括飛秒激光器、泵浦耦合裝置以及空芯光子晶體光纖；

所述飛秒激光器用于生成具有飛秒脈沖的初始激光；

所述泵浦耦合裝置用于接收所述初始激光，并將所述初始激光耦合入所述空芯光子晶體光纖內(nèi)；

所述空芯光子晶體光纖用于對(duì)耦合進(jìn)入其中的初始激光進(jìn)行增益，以得到目標(biāo)光束。

2.如權(quán)利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述飛秒激光器為產(chǎn)生脈寬范圍小于900fs的初始激光的激光器。

3.如權(quán)利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述泵浦耦合裝置包括耦合光纖、非球面透鏡、光學(xué)棱鏡組、耦合物鏡、光學(xué)透鏡陣列、全息漫反射器件、衍射光學(xué)器件中的任一個(gè)或者多個(gè)。

4.如權(quán)利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述空芯光子晶體光纖包括至少一條空芯光子晶體子光纖。

5.如權(quán)利要求4所述的激光光源，其特征在于，所述空芯光子晶體子光纖的中心波長(zhǎng)位于近紅外波段范圍內(nèi)。

6.一種檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括載物臺(tái)、控制單元、成像裝置以及基于空芯光子晶體光纖的超連續(xù)譜激光光源；

所述載物臺(tái)用于放置待檢測(cè)晶圓；

所述控制單元用于控制所述載物臺(tái)進(jìn)行相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)，并控制所述激光光源以及所述成像裝置的工作狀態(tài)；

所述成像裝置包括調(diào)制單元以及攝像機(jī)，所述調(diào)制單元用于控制所述激光光源生成的目標(biāo)光束照射至隨載物臺(tái)進(jìn)行相應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)的待檢測(cè)晶圓的表面；所述攝像機(jī)接收所述待檢測(cè)晶圓的表面的反射光以及散射光，以得到所述待檢測(cè)晶圓的整個(gè)表面的掃描圖像，并將所述掃描圖像發(fā)送至控制單元進(jìn)行檢測(cè)分析；其中，所述激光光源包括：飛秒激光器、泵浦耦合裝置以及空芯光子晶體光纖；

所述飛秒激光器用于生成具有飛秒脈沖的初始激光；

所述泵浦耦合裝置用于接收所述初始激光，并將所述初始激光耦合入所述空芯光子晶體光纖內(nèi)；

所述空芯光子晶體光纖用于對(duì)耦合進(jìn)入其中的初始激光進(jìn)行增益，以得到目標(biāo)光束。

7.如權(quán)利要求6所述的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述飛秒激光器為產(chǎn)生脈寬范圍小于900fs的初始激光的激光器。

8.如權(quán)利要求6所述的終端，其特征在于，所述終端還包括，所述泵浦耦合裝置包括耦合光纖、非球面透鏡、光學(xué)棱鏡組、耦合物鏡、光學(xué)透鏡陣列、全息漫反射器件和衍射光學(xué)器件中的任一個(gè)或者多個(gè)。

9.如權(quán)利要求6所述的終端，其特征在于，所述終端還包括，所述空芯光子晶體光纖包括至少一條空芯光子晶體子光纖。

10.如權(quán)利要求9所述的終端，其特征在于，所述終端還包括，所述空芯光子晶體子光纖的中心波長(zhǎng)位于近紅外波段范圍內(nèi)。