[發(fā)明專利]清洗液生成裝置及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010000721.8
• 申請(qǐng)日: 2020-01-02
• 公開（公告）號(hào): CN111180363A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白靖宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 劉戀;張穎玲

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種清洗液生成裝置和方法，在清洗液生成裝置的液體存儲(chǔ)室中存儲(chǔ)混合后的化學(xué)原液；所述化學(xué)原液至少包括：第一溶液、去離子水、第二溶液；第一溶液和第二溶液均為酸性溶液；通過清洗液生成裝置的第一管道將所述混合后的化學(xué)原液輸送至所述清洗液生成裝置的第三管道；在清洗液生成裝置的氣體發(fā)生器中產(chǎn)生具有氧化性的氣體；通過清洗液生成裝置的第二管道將所述氣體輸送至所述第三管道；將所述混合后的化學(xué)原液和所述氣體在所述第三管道中混合，生成用于清洗晶圓的清洗液。如此，能夠提供氧化性強(qiáng)的清洗液、達(dá)到良好的清洗效果；同時(shí)，清洗液中的混合后的化學(xué)原液可以持續(xù)使用，化學(xué)原液不需要頻繁更換，清洗效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種清洗液生成裝置及方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制造過程中，需要在晶圓上進(jìn)行各種工藝處理，如蝕刻、氧化、沉積、去光阻以及化學(xué)機(jī)械研磨等。這些工藝處理，在實(shí)現(xiàn)晶圓功能的同時(shí)，都會(huì)或多或少的在晶圓表面產(chǎn)生污染物，如有機(jī)附著物、金屬附著物以及氧化膜等。因此，在晶圓的制造過程中，需要利用氧化性的清洗液的多次清洗來清除污染物。

然而，相關(guān)技術(shù)中的清洗液存在氧化性差、清洗效果不佳以及清洗液中的化學(xué)原液更換頻率高、清洗效率低的問題。

發(fā)明內(nèi)容

為解決相關(guān)技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提出一種清洗液生成裝置和方法，能夠提供氧化性強(qiáng)的清洗液、達(dá)到良好的清洗效果；同時(shí)，清洗液中的混合后的化學(xué)原液可以持續(xù)使用，化學(xué)原液不需要頻繁更換，清洗效率高。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種清洗液生成裝置，包括：

液體存儲(chǔ)室、第一管道、氣體發(fā)生器、第二管道及第三管道；其中，

所述液體存儲(chǔ)室，用于存儲(chǔ)混合后的化學(xué)原液；所述化學(xué)原液至少包括：第一溶液、去離子水、第二溶液；所述第一溶液和所述第二溶液均為酸性溶液；

所述混合后的化學(xué)原液通過所述第一管道被輸送至所述第三管道；

所述氣體發(fā)生器，用于產(chǎn)生具有氧化性的氣體；所述氣體通過所述第二管道被輸送至所述第三管道；

所述混合后的化學(xué)原液和所述氣體在所述第三管道被混合，生成用于清洗晶圓的清洗液。

上述方案中，所述清洗液生成裝置還包括管道連接器，所述管道連接器上設(shè)置有第一端口、第二端口及第三端口；所述第一管道的輸出端口與所述第一端口相連，所述第二管道的輸出端口與所述第二端口相連，所述第三管道的輸入端口與所述第三端口連接。

上述方案中，所述第二管道上設(shè)置有閥門；所述閥門被打開時(shí)，所述氣體通過所述第二管道被輸送至所述第三管道。

上述方案中，所述清洗液生成裝置還包括控制器，所述控制器用于控制閥門開啟的大小，以調(diào)整所述氣體流過所述閥門的速度。

上述方案中，所述具有氧化性的氣體為臭氧。

上述方案中，所述液體存儲(chǔ)室設(shè)置有攪拌器，用于將注入所述液體存儲(chǔ)室的各化學(xué)原液進(jìn)行攪拌，以混合各化學(xué)原液。

上述方案中，所述第一管道上設(shè)置有泵；所述泵被開啟時(shí)，所述混合后的化學(xué)原液通過所述第一管道被輸送至所述第三管道。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種清洗液生成方法，包括：

在清洗液生成裝置的液體存儲(chǔ)室中存儲(chǔ)混合后的化學(xué)原液；所述化學(xué)原液至少包括：第一溶液、去離子水、第二溶液；所述第一溶液和所述第二溶液均為酸性溶液；

通過所述清洗液生成裝置的第一管道將所述混合后的化學(xué)原液輸送至所述清洗液生成裝置的第三管道；

在所述清洗液生成裝置的氣體發(fā)生器中產(chǎn)生具有氧化性的氣體；