[發明專利]對準標記的中心坐標的生成方法有效
| 申請號： | 202010000526.5 | 申請日： | 2020-01-02 |
| 公開（公告）號： | CN111142343B | 公開（公告）日： | 2022-11-18 |
| 發明（設計）人： | 方紅;姜鵬;黃樂 | 申請（專利權）人： | 長江存儲科技有限責任公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570 | 代理人： | 遠明 |
| 地址： | 430205 湖北省武漢*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 對準 標記 中心 標的 生成 方法 | ||
1.一種對準標記的中心坐標的生成方法，其特征在于，包括以下步驟：
取得至少一個對準標記單元,所述對準標記單元至少包括對準標記；
對所述對準標記單元提取所述對準標記的至少一部分,建立所述對準標記的映對標記；以及
就所述映對標記,計算出所述映對標記的中心坐標。
2.根據權利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述映對標記為所述對準標記中,具有對稱性的部分標記。
3.根據權利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述映對標記為所述對準標記的整個對準標記。
4.根據權利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述映對標記被建立在一個映對標記圖層中。
5.根據權利要求4所述的生成方法，其特征在于：所述映對標記圖層包括有多個映對標記，所述多個映對標記對應于來自多層芯片器件圖層中的至少一層的多個對準標記。
6.根據權利要求4所述的生成方法，其特征在于，在所述計算出所述映對標記的中心坐標后還包括有：在所述映對標記圖層中，根據所述中心坐標形成完整的所述對準標記單元。
7.根據權利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述對準標記單元還包括有參考信號，用以識別所述對準標記。
8.根據權利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述對準標記單元來自于多層芯片器件圖層的至少一層。
9.根據權利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述中心坐標系藉由中心坐標腳本對所述映對標記進行計算而得到。
10.根據權利要求1所述的生成方法，其特征在于，在所述計算出所述映對標記的中心坐標后還包括有：編寫程序化腳本，用以重復步驟的執行。
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