[其他]多層加熱器涂層、真空系統的部件以及真空系統

有效

• 申請號: 201990000448.X
• 申請日: 2019-01-09
• 公開（公告）號: CN214381456U
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: P·C·蘭布;R·霍勒
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: H05B3/26
• 分類號: H05B3/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 鄒龍輝;司昆明

1.一種用于加熱真空系統或其部件的多層加熱器涂層，其特征在于，所述多層加熱器涂層包括：

內絕緣層，其結合到所述真空系統或其部件的表面，

加熱器層，其涂覆所述內絕緣層的外表面，以及

外絕緣層，其包括涂覆所述加熱器層的外表面的陶瓷或玻璃，

其中，所述內絕緣層和所述外絕緣層均具有比所述加熱器層大的電阻，并且其中，所述外絕緣層比所述內絕緣層導熱性差。

2.根據權利要求1所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述多層加熱器涂層還包括：

密封層，其涂覆所述外絕緣層的外表面。

3.根據權利要求1或2所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述加熱器層的表面的未絕緣部分未被絕緣層覆蓋，并且被構造成使得在使用中來自非永久性電連接器的電流能夠穿過所述未絕緣部分。

4.根據權利要求3所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述多層加熱器涂層還包括電連接器，所述電連接器非永久地聯接到所述加熱器層的所述未絕緣部分以向所述加熱器層提供電力。

5.根據權利要求4所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述電連接器磁性地和/或機械地聯接到所述多層加熱器涂層，和/或所述電連接器被構造成直接接合所述加熱器層的所述未絕緣部分或接合涂覆到所述加熱器層的所述未絕緣部分上的導電材料。

6.根據權利要求1或2所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述內絕緣層包括選自以下材料中的一種材料：陶瓷、聚合物或聚合物基質復合材料。

7.根據權利要求6所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述材料為陶瓷。

8.根據權利要求7所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述內絕緣層包括選自以下陶瓷中的一種陶瓷：碳化硅、氮化硼、氧化鋁、氮化鋁、尖晶石或莫來石。

9.根據權利要求8所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述陶瓷為氧化鋁。

10.根據權利要求1或2所述的多層加熱器涂層，其特征在于，通過使用選自包括以下的組中的一種技術來沉積所述內絕緣層、加熱器層和/或外絕緣層：高速氧燃料涂層噴涂、電泳沉積（EPD）、低溫沉積、電子束物理氣相沉積（EBPVD）、空氣等離子體噴涂（APS）、靜電噴涂輔助氣相沉積（ESAVD）、直接氣相沉積。

11.根據權利要求1或2所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述外絕緣層包括選自以下材料中的一種材料：氧化鋁-氧化鋯、氧化鋯、氧化釔穩定的氧化鋯或二氧化硅。

12.根據權利要求1或2所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述加熱器層是金屬的或陶瓷的。

13.根據權利要求12所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述加熱器層是金屬的并且所述加熱器層包括白銅、鈦合金或鉻合金中的一種合金，其中所述鉻合金是鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金或鈦鎳鉻合金中的一者。

14.根據權利要求13所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述鉻合金為鈦鎳鉻合金。

15.根據權利要求12所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述加熱器層是陶瓷的，并且是二硅化鉬或正溫度系數陶瓷中的一種，所述正溫度系數陶瓷是鈦酸鋇或鈦酸鉛。

16.根據權利要求1或2所述的多層加熱器涂層，其特征在于，所述加熱器層和/或所述內絕緣層的厚度是變化的，和/或所述內絕緣層包括一個或多個不同區域，每個不同區域包括不同的材料。