[發明專利]攝像機構以及具有攝像機構的試樣分析裝置

在審

• 申請號: 201980097911.1
• 申請日: 2019-07-18
• 公開（公告）號: CN114026482A
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發明（設計）人: 三山敏史;土居昭;宮田仁史;莊司智廣
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G02B21/30
• 分類號: G02B21/30;G01N21/64;G02B21/26;G02B21/28
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種攝像機構，其特征在于，包括：

用于光學地觀察試樣的光學測量部；

通過支承部件搭載在工作臺上的、用于對所述試樣進行加熱和冷卻的溫度調節單元；和

為了拍攝所述試樣的全部區域而使所述工作臺移動的移動機構，

所述溫度調節單元包括：

與帕爾貼元件的一面抵接的、用于對所述試樣進行加熱和冷卻的溫度調節部；

與所述帕爾貼元件的另一面抵接的導熱部件；和

用于保持所述溫度調節部和所述導熱部件并將其固定在所述工作臺上的支承部件，

至少所述導熱部件與冷卻單元連接，

所述支承部件的導熱率低于所述導熱部件的導熱率。

2.如權利要求1所述的攝像機構，其特征在于：

所述支承部件由具有與所述導熱部件相比較低的線膨脹系數的材質構成。

3.如權利要求1所述的攝像機構，其特征在于：

所述導熱部件使用Al合金A6063，所述支承部件使用Fe-Ni36％合金。

4.如權利要求1所述的攝像機構，其特征在于：

所述支承部件中具有槽狀部，所述導熱部件設置在所述槽狀部中。

5.如權利要求1所述的攝像機構，其特征在于：

所述支承部件中具有孔狀部，所述導熱部件以穿過所述孔狀部的方式設置在所述孔狀部中。

6.如權利要求1所述的攝像機構，其特征在于：

所述帕爾貼元件被所述溫度調節部與所述導熱部件夾著而被固定，所述支承部件以與所述溫度調節部連結而與所述帕爾貼元件和所述導熱部件不接觸的方式安裝。

7.一種試樣分析裝置，其特征在于：

具有權利要求1～6中任一項所述的攝像機構。