[發(fā)明專利]電性連接裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980093681.1
• 申請(qǐng)日: 2019-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN113544519A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 原子翔;小田部昇;神谷浩;深見(jiàn)美行;水谷正吾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/06
• 分類號(hào): G01R1/06;G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 湯國(guó)華

本發(fā)明提供一種使線路基板的電極區(qū)域與連接件的接觸面積比以往大而抑制接觸電阻、能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的電性連接性的電性連接裝置。本發(fā)明的電性連接裝置的特征在于，具有：第1電極區(qū)域，其是在能夠與第1線路基板的基板電極導(dǎo)通的第1凹部?jī)?nèi)填充液體金屬得到的；第2電極區(qū)域，其是在能夠與和第1線路基板相對(duì)的第2線路基板的基板電極導(dǎo)通的第2凹部?jī)?nèi)填充液體金屬得到的；以及連接件，其使一端部與第1電極區(qū)域的液體金屬接觸，使另一端部與第2電極區(qū)域的液體金屬接觸，從而使第1電極區(qū)域與第2電極區(qū)域之間導(dǎo)通。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電性連接裝置。

背景技術(shù)

晶圓上形成的集成電路等被檢查體會(huì)進(jìn)行是否具有規(guī)定電特性的電性檢查。這樣的電性檢查是使用將被檢查體的電極端子與檢查裝置的電路的連接端子電性連接的探針卡來(lái)進(jìn)行。

像圖6中例示的那樣，以往的探針卡70具備：線路基板72，其電性連接至檢查裝置(圖示省略)；電性連接單元73，其配置在線路基板72的下側(cè)；探針基板74，其經(jīng)由電性連接單元73的多個(gè)連接端子731與線路基板72電性連接；以及多個(gè)接觸件75，它們安裝在探針基板74的下表面。于是，使探針基板74的多個(gè)接觸件75電性接觸被檢查體76的電極端子來(lái)進(jìn)行檢查裝置對(duì)被檢查體的檢查。

以往，為了使線路基板72與探針基板74之間電性連接，電性連接單元73上設(shè)置有多個(gè)連接件731。使各連接件731的上端電性連接到線路基板72的下表面的電極(以下也稱為“上部電極”)721，使各連接件731的下端電性連接到探針基板74的上表面的電極(以下也稱為“下部電極”)741。

為了穩(wěn)定線路基板72的上部電極721與探針基板74的下部電極741之間的電性連接，要求使電性連接單元73的各接件731與上部電極731及下部電極741之間的電性連接性變得良好。

專利文獻(xiàn)1中揭示了一種電路裝置，其具備電路基板和電路布線部，所述電路基板在其板厚方向上設(shè)置孔部，在該孔部?jī)?nèi)配置有液體金屬，所述電路布線部具有接觸液體金屬的凸形接觸部。根據(jù)專利文獻(xiàn)1的技術(shù)，通過(guò)使電路布線部的凸部接觸部接觸電路基板的孔部?jī)?nèi)配置的液體金屬，增大了對(duì)連接器區(qū)域的接觸面積，實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的電性連接性。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2018-64063號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

然而，以往的探針卡中，連接件的上端及下端的頂端例如為圓錐形狀等，因此連接件與電極(上部電極及下部電極)的接觸面積較小，存在接觸電阻增大這一問(wèn)題。

例如，通過(guò)像專利文獻(xiàn)1那樣使電路布線部的凸部接觸部接觸電路基板的孔部?jī)?nèi)配置的液體金屬，能夠增大接觸面積，但須設(shè)置與配置液體金屬的孔部的形狀相對(duì)應(yīng)的凸部接觸部，導(dǎo)致連接件與電極區(qū)域的電性連接結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。

此外，在探針卡中，為了保持被檢查體的電極端子與探針基板的各探針的穩(wěn)定的接觸性，須調(diào)整安裝至探針卡的探針基板的平面度，上部電極與下部電極的高度方向的位置可能會(huì)發(fā)生偏差。進(jìn)而，在使被檢查體的電極端子接觸探針時(shí)，須產(chǎn)生上下方向的彈性作用。因此，存在難以穩(wěn)定電性連接單元的各連接件與電極(上部電極及下部電極)的電性連接性這一問(wèn)題。

因此，鑒于上述那樣的問(wèn)題，本發(fā)明要提供一種使線路基板的電極區(qū)域與連接件的接觸面積比以往大而抑制接觸電阻、能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的電性連接性的電性連接裝置。

解決問(wèn)題的技術(shù)手段

為了解決這樣的問(wèn)題，本發(fā)明的電性連接裝置的特征在于，具有：(1)第1電極區(qū)域，其是在能夠與第1線路基板的基板電極導(dǎo)通的第1凹部?jī)?nèi)填充液體金屬得到的；(2)第2電極區(qū)域，其是在能夠與和第1線路基板相對(duì)的第2線路基板的基板電極導(dǎo)通的第2凹部?jī)?nèi)填充液體金屬得到的；以及(3)連接件，其使一端部與第1電極區(qū)域的液體金屬接觸、使另一端部與第2電極區(qū)域的液體金屬接觸，從而使第1電極區(qū)域與第2電極區(qū)域之間導(dǎo)通。