[發明專利]質量分析裝置以及質量分析方法

在審

• 申請號: 201980091333.0
• 申請日: 2019-02-15
• 公開（公告）號: CN113412532A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 影山遼;內田剛史;西口克;下村學
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;H01J49/10
• 代理公司: 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291
• 代理人: 楊楷;毛立群

本發明涉及一種質量分析裝置，具備在內部配置有離子化部、質量分離部與檢測部的真空容器，該質量分析裝置具備：開閉部，設置于真空容器，利用真空容器的內部與外部的壓力差來切換以關閉狀態鎖定的狀態與鎖定解除的狀態；冷卻用氣體導入部，將用于冷卻離子化部的冷卻用氣體導入真空容器，從而保持開閉部的鎖定的狀態。

技術領域

本發明涉及一種質量分析裝置以及質量分析方法。

背景技術

在由氣相色譜-質量分析儀(GC-MS)等質量分析裝置進行的分析中，使用被加熱至140℃～350℃等的高溫的離子源在真空下進行離子化。通過在離子源的容許壓力以下的真空下進行加熱使離子源保持在上述高溫，從而即使在分析結束后沸點高于室溫的高沸點化合物等也不會附著于離子源。

在維護這樣的質量分析裝置時，需要在大氣壓下開放離子源。此時，如果未在充分降低離子源的溫度后再將離子源在大氣壓下開放，則會產生上述這樣的化合物的附著，導致離子源受到污染。在專利文獻1中記載有通過將載氣導入離子源來冷卻離子源的GC-MS。在該GC-MS中，在離子源的溫度達到規定的溫度的情況下，通過打開構成開閉切換部的電磁閥，從而使真空腔向大氣開放。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2016/051554號

發明內容

發明要解決的技術問題

在離子源等離子化部的冷卻中，若設置于在內部具有離子化部的真空容器的門等開閉部被打開，則有可能使離子化部受到污染等不良影響。

用于解決上述技術問題的方案

本發明的第1方案涉及一種質量分析裝置，具備在內部配置有離子化部、質量分離部與檢測部的真空容器，所述離子化部將由分離部分離出的試樣離子化來生成離子，所述質量分離部對由所述離子化部生成的所述離子進行質量分離，所述檢測部檢測通過在所述質量分離部的質量分離得到的離子，該質量分析裝置具備：開閉部，設置于所述真空容器，利用所述真空容器的內部與外部的壓力差來切換以關閉狀態鎖定的狀態與鎖定解除的狀態；冷卻用氣體導入部，將用于冷卻所述離子化部的冷卻用氣體導入所述真空容器，從而保持所述開閉部的所述鎖定的狀態。

本發明的第2方案涉及一種質量分析裝置，具備在內部配置有離子化部、質量分離部與檢測部的真空容器，所述離子化部將由分離部分離出的試樣離子化來生成離子，所述質量分離部對由所述離子化部生成的所述離子進行質量分離，所述檢測部檢測通過在所述質量分離部的質量分離得到的離子，該質量分析裝置具備：開閉部，設置于所述真空容器；冷卻用氣體導入部，將用于冷卻所述離子化部的冷卻用氣體導入所述真空容器；判定部，在將所述冷卻用氣體導入所述真空容器之后，判定所述離子化部的冷卻結束；切換部，若所述判定部的判定結果為判定冷卻結束，則將所述開閉部從以關閉狀態鎖定的狀態切換為鎖定解除的狀態。

本發明的第3方案涉及一種質量分析方法，是具備在內部配置有離子化部、質量分離部與檢測部的真空容器的質量分析裝置的質量分析方法，所述離子化部將由分離部分離出的試樣離子化來生成離子，所述質量分離部對由所述離子化部生成的所述離子進行質量分離，所述檢測部檢測通過在所述質量分離部的質量分離得到的離子，所述真空容器具備開閉部，利用所述真空容器的內部與外部的壓力差來切換以關閉狀態鎖定的狀態與鎖定解除的狀態，所述質量分析方法具備：將用于冷卻所述離子化部的冷卻用氣體導入所述真空容器，從而保持所述開閉部的所述鎖定的狀態。