[發明專利]使用光纖將光輸送到真空腔室中

在審

• 申請號: 201980091237.6
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN113396348A
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: E·澤爾陳;D·佩蒂伯恩;O·G·佛羅倫度;陳立民;M·布魯特沙赫
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G02B6/38
• 分類號: G02B6/38
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種設備，其包括：

真空腔室；

載臺，其安置于所述真空腔室中，經配置以對晶片進行緊固；

激光光源，其安置于所述真空腔室外部；

光纖，其將由所述激光光源產生的所有波長的光穿過所述真空腔室的壁傳輸到所述真空腔室中；及

消色差與偏振單元。

2.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括將電子束引導于所述載臺處的電子束源。

3.根據權利要求1所述的設備，其中所述光纖傳輸處于從200nm到2000nm的波長的光。

4.根據權利要求1所述的設備，其中所述激光光源包含多個激光器及多個二向色鏡。

5.根據權利要求1所述的設備，其中所述激光光源進一步包含多個激光器、偏振相依分束器及多個半波片。

6.根據權利要求1所述的設備，其中所述光纖是多模光纖。

7.根據權利要求1所述的設備，其中所述光纖是單模光纖。

8.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括安置于所述真空腔室中的從所述光纖接收所述光的波片。

9.根據權利要求8所述的設備，其中所述波片是半波片或四分之一波片。

10.根據權利要求1所述的設備，其中所述消色差與偏振單元包含：

轉向鏡，其安置于所述真空腔室中，其中所述轉向鏡從所述光纖接收所述光且經配置以將所述光從所述光纖引導于所述載臺處；及

至少一個消色差型透鏡，其安置于所述真空腔室中，其中所述消色差型透鏡經配置以將從所述光纖接收的所述光準直及/或將所述光成像到所述晶片上。

11.根據權利要求1所述的設備，其中所述消色差與偏振單元包含曲面鏡，其中所述曲面鏡是球面的或拋物面的。

12.根據權利要求1所述的設備，其中來自所述激光光源的所述光處于多于一個波長。

13.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括圍繞所述光纖的凸緣，其中所述凸緣安置于所述真空腔室的所述壁中，且其中所述凸緣包含：

外組件，其圍繞所述光纖安置；及

聚合物層，其安置于所述光纖與所述外組件之間，其中所述聚合物層經徑向壓縮以形成氣密密封。

14.根據權利要求13所述的設備，其中所述壁與管之間的所述氣密密封進一步包含使用金屬對金屬密封。

15.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括圍繞所述光纖的凸緣，其中所述凸緣安置于所述真空腔室的所述壁中，其中所述凸緣是彈性體密封件，且其中所述彈性體密封件經徑向壓縮以形成氣密密封。

16.一種方法，其包括：

通過光纖將來自激光光源的光引導到真空腔室，其中所述光纖將由所述激光光源產生的所有波長的光穿過所述真空腔室的壁傳輸到所述真空腔室中；

將所述光引導到所述真空腔室中的消色差與偏振單元；及

將所述光引導到緊固于安置在所述真空腔室中的載臺上的晶片。

17.根據權利要求16所述的方法，其進一步包括在所述真空腔室中將電子束引導于所述晶片處。

18.根據權利要求16所述的方法，其中所述光具有從200nm到2000nm的波長。

19.根據權利要求16所述的方法，其中所述消色差與偏振單元包含轉向鏡或曲面鏡。