[發明專利]MEMS反光鏡裝置以及其制造方法

有效

• 申請號: 201980090713.2
• 申請日: 2019-02-06
• 公開（公告）號: CN113366368B
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發明（設計）人: 平田善明;紺野伸顯;伊藤恭彥;梶山佳敬
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 李鵬宇

1.一種MEMS反光鏡裝置，其中，

上述MEMS反光鏡裝置具備：

框體；

內側可動構件，該內側可動構件配置在上述框體的內側；

第1梁，該第1梁將上述內側可動構件可旋轉地連結于上述框體；

反射反光鏡構件，該反射反光鏡構件具有反射面和與上述反射面相反側的背面；以及

連結構件，該連結構件將上述反射反光鏡構件與上述內側可動構件連結，

上述第1梁在上述反射反光鏡構件的上述背面與上述內側可動構件連結，

在上述內側可動構件設有槽，

上述第1梁在上述槽中延伸，

上述內側可動構件包括第1框體部分、第2框體部分和將上述第1框體部分與上述第2框體部分連結的連結部分，

上述第1梁與上述連結部分連結，

上述槽由上述第1框體部分、上述第2框體部分和上述連結部分規定。

2.一種MEMS反光鏡裝置，其中，

上述MEMS反光鏡裝置具備：

框體；

內側可動構件，該內側可動構件配置在上述框體的內側；

第1梁，該第1梁將上述內側可動構件可旋轉地連結于上述框體；

反射反光鏡構件，該反射反光鏡構件具有反射面和與上述反射面相反側的背面；以及

連結構件，該連結構件將上述反射反光鏡構件與上述內側可動構件連結，

上述第1梁在上述反射反光鏡構件的上述背面與上述內側可動構件連結，

上述MEMS反光鏡裝置還具備：

固定框體；以及

第2梁，該第2梁將上述框體可旋轉地連結于上述固定框體，

上述框體是外側可動框體，

當俯視上述反射反光鏡構件的上述反射面時，上述第2梁在與上述第1梁不同的方向延伸，

上述第2梁包括與上述框體及上述固定框體連接的第1層和層積在上述第1層上的第2層，

上述第2層與上述框體及上述固定框體分離，且具有比上述第1層大的厚度和比上述第1層小的寬度。

3.如權利要求2所述的MEMS反光鏡裝置，其中，

上述MEMS反光鏡裝置還具備第1肋，該第1肋設在上述外側可動框體，

上述第1肋從上述反射反光鏡構件側的上述外側可動框體的表面突出，且與上述反射反光鏡構件分開。

4.如權利要求1所述的MEMS反光鏡裝置，其中，

上述框體是固定框體。

5.如權利要求1～4中任一項所述的MEMS反光鏡裝置，其中，

上述MEMS反光鏡裝置還具備設于上述反射反光鏡構件的第2肋，

上述第2肋從上述反射反光鏡構件的上述背面突出。

6.如權利要求5所述的MEMS反光鏡裝置，其中，

在上述第2肋的至少一部分設有間隙。

7.如權利要求1～6中任一項所述的MEMS反光鏡裝置，其中，

上述MEMS反光鏡裝置具有包括第1硅層、第2硅層和第3硅層的層積體結構，上述第2硅層層積在上述第1硅層與上述第3硅層之間，

在上述第1硅層形成有上述框體、上述內側可動構件和上述第1梁，

在上述第2硅層形成有上述連結構件，

在上述第3硅層形成有上述反射反光鏡構件。

8.一種MEMS反光鏡裝置的制造方法，是如權利要求1或4所述的MEMS反光鏡裝置的制造方法，上述MEMS反光鏡裝置具備層積體，該層積體包括第1硅層、第2硅層和第3硅層，上述第2硅層層積在上述第1硅層與上述第3硅層之間，其中，

上述MEMS反光鏡裝置的制造方法具備以下工序：

在上述第1硅層形成上述內側可動構件、上述框體和上述第1梁；

在上述第2硅層形成上述連結構件；以及

在上述第3硅層形成上述反射反光鏡構件。