[發明專利]保管系統

有效

• 申請號: 201980089990.1
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN113348140B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 和田榮治;入野功輔
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;H01L21/677
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;劉偉志

可靠且容易地進行吊車相對于空中軌道的搬出及搬入。保管系統(SYS)具備：空中倉儲裝置(100)，該空中倉儲裝置(100)具有第1空中軌道(20)、在上下方向上具備多層保管部(11)的置物架(10)、和沿著第1空中軌道(20)行進且在多層保管部(11)之間交接物品(2)的吊車(40)；以及空中搬送車系統，該空中搬送車系統具有與空中倉儲裝置(100)的下端相比設在下方的第2空中軌道(30)、和沿著第2空中軌道(30)行進且相對于裝載口(LP)交接物品(2)的空中搬送車(50)，第1空中軌道(20)在俯視時從第2空中軌道(30)偏離的部分具有能夠支承著停止行進的吊車(40)而下降的升降軌道(25)。

技術領域

本發明涉及保管系統。

背景技術

在半導體制造工廠等中，通過空中搬送車對收容半導體晶圓的FOUP(Front-Opening?Unified?Pod，前開式晶圓傳送盒)或收容掩模的掩模盒(reticule?pot)等物品進行搬送，相對于處理裝置的裝載口等移載目的地進行物品的交接。已知由該空中搬送車搬送的物品被保管于能夠在與該空中搬送車之間交接物品的保管系統(例如參照專利文獻1)。在專利文獻1中，載置物品的保管部沿上下方向設有多層，能夠在該保管部之間移載物品。另外，已知多層保管部中的物品的移載能夠適用沿著空中軌道行進而在多個保管部之間交接物品的吊車(例如參照專利文獻2)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2017-030944號公報

專利文獻2：國際公開第2018/074130號

發明內容

專利文獻2所記載的吊車需要在維護等中相對于空中軌道搬出及搬入。例如，在該吊車所行進的空中軌道的下方設有各種系統、裝置或保管部等的情況下，需要避開該各種系統等的配置地進行吊車相對于空中軌道的搬入及搬出。

本發明的目的在于提供一種能夠可靠且容易地進行吊車相對于空中軌道的搬出及搬入的保管系統。

本發明的方案的保管系統具備：空中倉儲裝置，該空中倉儲裝置具有第1空中軌道、在上下方向上具備多層保管部的置物架、和沿著第1空中軌道行進且在多層保管部之間交接物品的吊車；以及空中搬送車系統，該空中搬送車系統具有與空中倉儲裝置的下端相比設在下方的第2空中軌道、和沿著第2空中軌道行進且相對于規定的移載目的地交接物品的空中搬送車，第1空中軌道在俯視時從第2空中軌道偏離的部分具有能夠支承著停止行進的吊車而下降的升降軌道。

另外，也可以是，升降軌道被設在作業者用通道的正上方。另外，也可以具備將升降軌道懸吊并保持的懸吊部件、和通過卷繞或放出懸吊部件而使升降軌道升降的升降軌道驅動部。另外，也可以是，具備在空中倉儲裝置與空中搬送車系統之間沿上下方向搬送物品的搬送裝置，在升降軌道的正下方設有能夠供空中搬送車及搬送裝置中的任一方交接物品的載置部，載置部能夠從升降軌道的正下方退避。另外，也可以是，載置部以架設在一對其他載置部之間的方式配置，空中搬送車能夠在與其他載置部之間交接物品。

發明效果

根據上述保管系統，由于第1空中軌道在俯視時從第2空中軌道偏離的部分具有能夠支承著停止行進的吊車而下降的升降軌道，所以能夠通過該升降軌道不與空中搬送車系統發生干涉地可靠且容易地進行吊車相對于第1空中軌道的搬出及搬入。