[發(fā)明專利]決定方法及光檢測(cè)裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201980082092.3 | 申請(qǐng)日: | 2019-11-29 |
| 公開(公告)號(hào): | CN113302462A | 公開(公告)日: | 2021-08-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 園部弘典 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浜松光子學(xué)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | G01J1/42 | 分類號(hào): | G01J1/42;G01J1/44;H01L31/107 |
| 代理公司: | 北京尚誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322 | 代理人: | 楊琦 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 決定 方法 檢測(cè) 裝置 | ||
1.一種決定方法,其中,
是關(guān)于具有雪崩光電二極管的光檢測(cè)裝置,決定電壓的決定方法,
包含:
在將施加于所述雪崩光電二極管的偏置電壓設(shè)為“Vr”,將被施加了該偏置電壓的所述雪崩光電二極管的增益設(shè)為“M”的情況下,取得將表示所述偏置電壓與所述增益的相關(guān)的數(shù)據(jù)中的“(1/M)×(dM/dVr)”設(shè)為反應(yīng)變量且將“M”設(shè)為解釋變量的回歸直線的斜率及截距;及
決定所述雪崩光電二極管的擊穿電壓與所述偏置電壓的差分電壓,
所述光檢測(cè)裝置具有基于被決定的所述差分電壓進(jìn)行所述雪崩光電二極管的增益的溫度補(bǔ)償?shù)臏囟妊a(bǔ)償部,
在決定所述差分電壓時(shí),將通過將所述斜率代入下式(1)的“a”,將所述截距代入下式(1)的“b”,將設(shè)定于所述雪崩光電二極管的增益代入下式(1)的“Md”而運(yùn)算的“ΔV”決定為所述差分電壓,
[數(shù)1]
2.如權(quán)利要求1所述的決定方法,其中,
通過將相互不同的多個(gè)值作為設(shè)定于所述雪崩光電二極管的增益分別代入所述式(1)的“Md”而運(yùn)算的多個(gè)“ΔV”,被決定為與所述多個(gè)值的各個(gè)對(duì)應(yīng)的所述差分電壓。
3.一種光檢測(cè)裝置,其中,
具備:
雪崩光電二極管;及
溫度補(bǔ)償部,其通過基于所述雪崩光電二極管的擊穿電壓與施加于所述雪崩光電二極管的偏置電壓的差分電壓控制所述偏置電壓,從而進(jìn)行所述雪崩光電二極管的溫度補(bǔ)償,
所述溫度補(bǔ)償部在將所述偏置電壓設(shè)為“Vr”且將被施加了該偏壓電的所述雪崩光電二極管的增益設(shè)為“M”的情況下,以關(guān)于表示所述偏置電壓與所述增益的相關(guān)的數(shù)據(jù),所述差分電壓成為通過將“(1/M)×(dM/dVr)”設(shè)為反應(yīng)變量且將“M”設(shè)為解釋變量的回歸直線的斜率代入下式(2)的“a”,將所述回歸直線的截距代入下式(2)的“b”,將設(shè)定于所述雪崩光電二極管的增益代入下式(2)的“Md”而運(yùn)算的“ΔV”的方式,控制所述偏置電壓,
[數(shù)2]
4.如權(quán)利要求3所述的光檢測(cè)裝置,其中,
還具備:
設(shè)定部,其根據(jù)設(shè)定于所述雪崩光電二極管的增益,設(shè)定所述溫度補(bǔ)償部;及
配線部,其電連接所述溫度補(bǔ)償部與所述雪崩光電二極管,
所述溫度補(bǔ)償部具有具備相互不同的擊穿電壓的多個(gè)溫度補(bǔ)償用二極管,
所述配線部將與各所述溫度補(bǔ)償用二極管的擊穿電壓對(duì)應(yīng)的電壓作為偏置電壓施加于所述雪崩光電二極管,
所述設(shè)定部以通過將設(shè)定于所述雪崩光電二極管的增益代入所述式(2)的“Md”而運(yùn)算的“ΔV”成為所述差分電壓的方式,自所述多個(gè)溫度補(bǔ)償用二極管設(shè)定所述偏置電壓的控制所使用的所述溫度補(bǔ)償用二極管。
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