[發(fā)明專利]橫向間隙模式激發(fā)受到抑制且橫向模式減少的電聲諧振器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980082003.5
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN113169719A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: C·許克
• 申請（專利權(quán)）人: RF360歐洲有限責任公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 趙林琳;鄭振

提供了一種電聲諧振器。該諧振器具有間隙短路結(jié)構(gòu)(GSS)，以使橫向間隙的至少一個區(qū)域電短路以抑制橫向間隙模式激發(fā)。間隙短路結(jié)構(gòu)可以由間隙中的導電條提供，該導電條相對于使相鄰IDT指短路的匯流排(BB)平行或傾斜。條帶與匯流排之間可以設(shè)置附加連接器。連接器相對于ID指可以具有不同的節(jié)距或金屬化比例。連接器可以從指的位置偏移并且可以相對于匯流排傾斜。該間隙中的多個平行條帶可以提供橫向反射器。通過使用間隙短路結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)進一步改善的具有活塞模式設(shè)計的橫向模式抑制。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及橫向間隙模式激發(fā)受到抑制且橫向模式減少的電聲諧振器、涉及電聲濾波器、涉及制造諧振器的方法以及涉及減少上述雜散模式的方法。

背景技術(shù)

電聲諧振器可以用于建立RF濾波器，例如，用于無線移動通信設(shè)備的RF濾波器。

電聲諧振器具有電極結(jié)構(gòu)和壓電材料。由于壓電效應(yīng)，所以電聲諧振器在電磁RF信號與聲學RF信號之間進行轉(zhuǎn)換。根據(jù)公開WO2011/088904A1，已知用于獲得活塞模式的電聲諧振器的換能器結(jié)構(gòu)。橫向模式減少的橫向聲學波導通過調(diào)整橫向聲學速度分布來實現(xiàn)。

橫向聲學波導通過使用波速較高的橫向間隙來實現(xiàn)，該橫向間隙允許減少聲波沿橫向方向的泄漏。然而，由于波衍射，所以可以激發(fā)橫向模式，這些橫向模式在導納曲線中示為峰值而在對應(yīng)濾波器中示為通帶內(nèi)部的下陷。在上文所提及的活塞模式下，這些橫向模式可以通過調(diào)整橫向聲學速度分布來抑制。

然而，在一些材料系統(tǒng)(例如，TFSAW)中，傳統(tǒng)活塞模式方案不能足以實現(xiàn)可接受的橫向模式抑制，并且可以激發(fā)橫向間隙區(qū)域中的附加模式(被稱為橫向間隙模式)，這些模式顯著擾亂濾波器性能。

因此，需要一種性能進一步改進的電聲諧振器，尤其是橫向間隙模式激發(fā)受到抑制且橫向模式減少的電聲諧振器，從而導致濾波器的通帶性能的對應(yīng)改善。進一步地，需要一種能夠改善濾波器中通帶和阻帶之間的過渡陡度(尤其是當損耗降低時)的電聲諧振器。進一步地，期望諧振器優(yōu)化的新自由度。對應(yīng)諧振器和濾波器應(yīng)當能夠使用傳統(tǒng)制造步驟制造，而不會增加復雜性和成本。

發(fā)明內(nèi)容

為此，提供了一種根據(jù)獨立權(quán)利要求1的橫向間隙模式激發(fā)受到抑制且橫向模式減少的電聲諧振器。從屬權(quán)利要求提供優(yōu)選實施例。

橫向間隙模式激發(fā)受到抑制且橫向模式減少的電聲諧振器包括壓電材料和電極結(jié)構(gòu)。電極結(jié)構(gòu)布置在壓電材料上或上方。諧振器還包括間隙短路結(jié)構(gòu)，該間隙短路結(jié)構(gòu)布置在壓電材料上或上方。電極結(jié)構(gòu)具有兩個相對的匯流排、兩個橫向間隙、以及電極指。每個電極指電連接到兩個匯流排中的一個匯流排。橫向間隙布置在電極指的端部與相應(yīng)的相對匯流排之間。間隙短路結(jié)構(gòu)具有導體條并且布置在橫向間隙內(nèi)部。

電極結(jié)構(gòu)的電極指和匯流排形成叉指結(jié)構(gòu)，其中電極指相互交叉并且具有梳狀結(jié)構(gòu)。對應(yīng)電磁RF信號可以施加到匯流排。匯流排向電連接到匯流排的對應(yīng)電極指提供電磁RF信號。通常，電極指沿橫向方向具有延伸段，并且在電磁RF信號與聲學RF信號之間進行轉(zhuǎn)換。聲學RF信號沿縱向方向傳播，該縱向方向大致與電極指的延伸方向正交。聲波在壓電材料的表面或界面處傳播。電極指以其端部中的一個端部電連接到對應(yīng)匯流排。相應(yīng)另一端部與相對匯流排隔開一段距離布置。否則，兩個匯流排可能會短路。橫向間隙(或只是間隙)是電極指與相對匯流排之間的聲學軌道內(nèi)的區(qū)域。因此，聲學軌道通常具有兩個橫向間隙。一個間隙布置在匯流排中的一個匯流排與其中極性相反的電極指重疊的中心激發(fā)區(qū)域之間。相應(yīng)另一間隙布置在中心激發(fā)區(qū)域與相應(yīng)另一相對匯流排之間。間隙沿著縱向方向具有延伸段并且基本上平行于匯流排。

具有其導體條的間隙短路結(jié)構(gòu)可能使間隙的區(qū)域電短路。

間隙短路結(jié)構(gòu)的導體條可以具有沿著縱向方向具有延伸部。具體地，間隙結(jié)構(gòu)可能包括至少兩個導體條，例如，聲學軌道的每一側(cè)都有一個導體條。導體條基本上可以平行于匯流排布置在中心激發(fā)區(qū)域與匯流排之間的兩個間隙中。