[發明專利]圖案形成方法、感光性樹脂組合物、固化膜、層疊體及器件

在審

• 申請號: 201980079803.1
• 申請日: 2019-11-26
• 公開（公告）號: CN113168093A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 山崎健太;青島俊榮
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/029;G03F7/037;G03F7/09;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/027
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 薛海蛟

1.一種圖案形成方法，其包括：

曝光工序，通過激光對感光膜進行曝光；及

顯影工序，對所述曝光后的所述感光膜進行顯影來獲得圖案，

所述感光膜包含選自由聚酰亞胺前體及聚苯并噁唑前體組成的組中的至少一種前體以及鎓鹽。

2.根據權利要求1所述的圖案形成方法，其中，

所述激光的波長為250nm～550nm。

3.根據權利要求1或2所述的圖案形成方法，其中，

所述感光膜還包含具有多個羧基且分子量為1000以下的化合物。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的圖案形成方法，其中，

所述感光膜還包含具有亞硫酸酯結構的化合物。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的圖案形成方法，其在所述顯影工序之后包括通過對所述圖案進行加熱來獲得固化圖案的固化工序。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的圖案形成方法，其中，

所述鎓鹽中的陽離子包含選自由四烷基銨陽離子、锍陽離子及碘鎓陽離子組成的組中的至少一種陽離子。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的圖案形成方法，其中，

所述鎓鹽包含銨陽離子作為陽離子，且所述鎓鹽包含共軛酸的pKa為1.8以下的陰離子作為陰離子。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的圖案形成方法，其還包含含有第4族元素的化合物。

9.根據權利要求8所述的圖案形成方法，其中，

所述含有第4族元素的化合物為光自由基產生劑。

10.根據權利要求8或9所述的圖案形成方法，其中，

所述含有第4族元素的化合物為包含選自由鈦原子、鋯原子及鉿原子組成的組中的至少1個的有機化合物。

11.根據權利要求8至10中任一項所述的圖案形成方法，其中，

所述含有第4族元素的化合物包含選自由茂金屬及茂金屬衍生物組成的組中的至少一種。

12.根據權利要求1至11中任一項所述的圖案形成方法，其中，

所述感光膜為通過狹縫涂布形成的感光膜。

13.根據權利要求1至12中任一項所述的圖案形成方法，其中，

所述感光膜形成于矩形基材上。

14.一種感光性樹脂組合物，其包含選自由聚酰亞胺前體及聚苯并噁唑前體組成的組中的至少一種前體以及鎓鹽，

所述感光性樹脂組合物用于權利要求1至13中任一項所述的圖案形成方法中的所述感光膜的形成。

15.一種固化膜，其是由權利要求14所述的感光性樹脂組合物形成的。

16.根據權利要求15所述的固化膜，其用作再配線層用層間絕緣膜。

17.一種層疊體，其包含2層以上的權利要求15或16所述的固化膜。

18.根據權利要求17所述的層疊體，其中，

在所述固化膜之間還包含金屬層。

19.一種器件，其包含權利要求15或16所述的固化膜或者權利要求17或18所述的層疊體。