[發(fā)明專利]單個單元灰度散射術(shù)重疊目標(biāo)及其使用變化照明參數(shù)的測量

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980076145.0
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN113039407A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·瑪納森;Y·帕斯卡維爾;E·阿米特
• 申請（專利權(quán)）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27;G01B9/02;G01N21/47;G03F7/20;G01N21/956
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種散射術(shù)重疊SCOL測量方法，其包括：

通過以下項產(chǎn)生信號矩陣：

以至少一個照明參數(shù)的多個值且在SCOL目標(biāo)上的多個光點位置照明所述目標(biāo)，其中所述照明是以產(chǎn)生光點直徑1μ的NA(數(shù)值孔徑)1/3，

測量零級及第一衍射級的干擾信號，及

相對于所述照明參數(shù)及所述目標(biāo)上的所述光點位置從測量信號建構(gòu)所述信號矩陣，及

通過分析所述信號矩陣而導(dǎo)出目標(biāo)重疊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SCOL測量方法，其中所述SCOL目標(biāo)包括至少一個周期性結(jié)構(gòu)且所述多個光點位置是在所述至少一個周期性結(jié)構(gòu)的節(jié)距內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的SCOL測量方法，其進(jìn)一步包括沿所述至少一個周期性結(jié)構(gòu)的測量方向?qū)⑺瞿繕?biāo)上的所述光點位置設(shè)置于目標(biāo)節(jié)距內(nèi)，及在垂直于所述測量方向的方向上對所述測量信號取平均值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一權(quán)利要求所述的SCOL測量方法，其中所述至少一個照明參數(shù)包括照明波長，且其所述多個值包括至少三個照明波長。

5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任一權(quán)利要求所述的SCOL測量方法，其進(jìn)一步包括通過執(zhí)行或模擬具有已知重疊值的SCOL目標(biāo)的測量而校準(zhǔn)所述信號矩陣。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的SCOL測量方法，其進(jìn)一步包括相對于所述光點位置、照明參數(shù)及目標(biāo)重疊形成所述信號矩陣的模型。

7.一種計算機程序產(chǎn)品，其包括具有用其體現(xiàn)的計算機可讀程序的非暫時性計算機可讀存儲媒體，所述計算機可讀程序經(jīng)配置以實行根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一權(quán)利要求所述的SCOL測量方法。

8.一種計量模塊，其包括根據(jù)權(quán)利要求7所述的計算機程序產(chǎn)品。

9.所述SCOL目標(biāo)的計量測量，其由根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一權(quán)利要求所述的SCOL測量方法實行。

10.一種SCOL目標(biāo)，其包括在多個層處具有周期性結(jié)構(gòu)且測量為2μ×2μ或更小的單個單元。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的SCOL目標(biāo)，其中所述周期性結(jié)構(gòu)是最多四個節(jié)距條桿寬。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的SCOL目標(biāo)，其中所述周期性結(jié)構(gòu)是兩個節(jié)距條桿寬。

13.根據(jù)權(quán)利要求10到12中任一權(quán)利要求所述的SCOL目標(biāo)，其被放置于對應(yīng)晶片上的裸片中。

14.一種散射術(shù)重疊SCOL測量系統(tǒng)，其包括：

照明單元，其經(jīng)配置以以至少一個照明參數(shù)的多個值且在SCOL目標(biāo)上的多個光點位置照明所述目標(biāo)，其中所述照明是以產(chǎn)生光點直徑1μ的NA(數(shù)值孔徑)1/3，

測量單元，其經(jīng)配置以測量零級及第一衍射級的干擾信號，及

處理單元，其經(jīng)配置以相對于所述照明參數(shù)及所述目標(biāo)上的所述光點位置從測量信號建構(gòu)信號矩陣，且通過分析所述信號矩陣而導(dǎo)出目標(biāo)重疊。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的SCOL測量系統(tǒng)，其進(jìn)一步經(jīng)配置以沿至少一個周期性結(jié)構(gòu)的測量方向?qū)⑺瞿繕?biāo)上的所述光點位置設(shè)置于目標(biāo)節(jié)距內(nèi)，且通過沿所述至少一個周期性結(jié)構(gòu)的元件掃描所述SCOL目標(biāo)而在垂直于所述測量方向的方向上對所述測量信號取平均值。

16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的SCOL測量系統(tǒng)，其中所述至少一個照明參數(shù)包括照明波長，且其所述多個值包括至少三個照明波長。

17.根據(jù)權(quán)利要求14到16中任一權(quán)利要求所述的SCOL測量系統(tǒng)，其進(jìn)一步經(jīng)配置以通過執(zhí)行或模擬具有已知重疊值的SCOL目標(biāo)的測量而校準(zhǔn)所述信號矩陣。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的SCOL測量系統(tǒng)，其進(jìn)一步經(jīng)配置以相對于所述光點位置、照明參數(shù)及目標(biāo)重疊形成所述信號矩陣的模型。