[發(fā)明專利]激光加工裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980071402.1
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN112955272A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 坂本剛志;奧間惇治
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號: B23K26/042
• 分類號: B23K26/042;B23K26/064;B23K26/08
• 代理公司: 北京尚誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

本發(fā)明的激光加工裝置包括：支承部，其支承對象物且沿著第1方向移動(dòng)；第1移動(dòng)部，其沿著與第1方向垂直的第2方向移動(dòng)；第1安裝部，其安裝于第1移動(dòng)部，且沿著與第1方向和第2方向垂直的第3方向移動(dòng)；第1激光加工頭，其安裝于第1安裝部，且對對象物照射第1激光；輸出第1激光的光源單元；和第1反射鏡，其安裝于第1移動(dòng)部，且反射第1激光。第1激光加工頭具有第1入射部和第1聚光部。光源單元具有第1出射部。第1反射鏡以在第2方向上與第1出射部相對且在第3方向上與第1入射部相對的方式安裝于第1移動(dòng)部。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光加工裝置。

背景技術(shù)

在專利文獻(xiàn)1中記載了一種激光加工裝置，包括：將保持工件的保持機(jī)構(gòu)、以及將激光照射在被保持于保持機(jī)構(gòu)的工件的激光照射機(jī)構(gòu)。在專利文獻(xiàn)1的激光加工裝置中，具有聚光透鏡的激光照射機(jī)構(gòu)是被固定于基臺(tái)，沿著與聚光透鏡的光軸垂直的方向的工件的移動(dòng)由保持機(jī)構(gòu)實(shí)施。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利第5456510號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問題

在如上所述的激光加工裝置中，在考慮到對各種加工的應(yīng)用時(shí)，有著使聚光透鏡沿著與聚光透鏡的光軸垂直的方向移動(dòng)的構(gòu)造為佳的情況。但是，專利文獻(xiàn)1所記載的激光加工裝置，是使從激光振蕩器到聚光透鏡的激光的光路上的各構(gòu)造配置在殼體內(nèi)而構(gòu)成激光照射機(jī)構(gòu)，因此難以使聚光透鏡沿著與聚光透鏡的光軸垂直的方向移動(dòng)。

本發(fā)明的目的是提供能夠使聚光部沿著與其光軸垂直的方向順利地移動(dòng)的激光加工裝置。

用于解決問題的技術(shù)方案

本發(fā)明的一方面的激光加工裝置包括：支承部，其支承對象物且沿著第1方向移動(dòng)；第1移動(dòng)部，其沿著與第1方向垂直的第2方向移動(dòng)；第1安裝部，其安裝于第1移動(dòng)部，且沿著與第1方向和第2方向垂直的第3方向移動(dòng)；第1激光加工頭，其安裝于第1安裝部，且對對象物照射第1激光；輸出第1激光的光源單元；和第1反射鏡，其安裝于第1移動(dòng)部，且反射第1激光，第1激光加工頭具有使第1激光入射的第1入射部和將第1激光聚光而出射的第1聚光部，光源單元具有使第1激光出射的第1出射部，第1反射鏡以在第2方向上與第1出射部相對且在第3方向上與第1入射部相對的方式安裝于第1移動(dòng)部。

在該激光加工裝置，經(jīng)由第1安裝部安裝了第1激光加工頭的第1移動(dòng)部沿著第2方向移動(dòng)，能夠使第1激光加工頭的第1聚光部沿著與其光軸垂直的方向移動(dòng)。此外，即使第1移動(dòng)部沿著第2方向移動(dòng)，也能夠維持成在第2方向上使第1反射鏡與光源單元的第1出射部相對的狀態(tài)。并且，即使第1安裝部沿著第3方向移動(dòng)，也能夠維持成在第3方向上使第1反射鏡與第1激光加工頭的第1入射部相對的狀態(tài)。于是，無關(guān)第1激光加工頭的位置，能夠?qū)墓庠磫卧牡?出射部出射的第1激光可靠地入射至第1激光加工頭的第1入射部。而且，能夠利用難以由光纖導(dǎo)光的高功率長短脈沖激光等光源。如上所述，根據(jù)本激光加工裝置，能夠使聚光部沿著與其光軸垂直的方向順利地移動(dòng)。

在本發(fā)明的一個(gè)方面的激光加工裝置中，第1反射鏡可以以能夠進(jìn)行角度調(diào)整和位置調(diào)整中的至少一者的方式安裝于第1移動(dòng)部。由此，能夠?qū)墓庠磫卧牡?出射部出射的第1激光更可靠地入射至第1激光加工頭的第1入射部。

在本發(fā)明的一個(gè)方面的激光加工裝置中，支承部可以以平行于第3方向的軸線為中心線旋轉(zhuǎn)。由此，能夠效率良好地加工對象物。

在本發(fā)明的一個(gè)方面的激光加工裝置中，還包括：沿著第2方向移動(dòng)的第2移動(dòng)部；第2安裝部，其安裝于第2移動(dòng)部，且沿著第3方向移動(dòng)；和第2激光加工頭，其安裝于第2安裝部，且對對象物照射第2激光，光源單元輸出第2激光，第2激光加工頭具有使第2激光入射的第2入射部和將第2激光聚光而出射的第2聚光部，光源單元具有使第2激光出射的第2出射部。如上所述，由于設(shè)有多個(gè)激光加工頭，能夠效率良好地加工對象物。