[發明專利]微鏡器件及微鏡器件的驅動方法

有效

• 申請號: 201980069459.8
• 申請日: 2019-10-07
• 公開（公告）號: CN112912784B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 直野崇幸
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 韓香花;崔成哲

1.一種微鏡器件，其具備：

反射鏡部，其具有反射入射光的反射面；

環狀的第1致動器，其配置成包圍所述反射鏡部；

環狀的第2致動器，其配置成包圍所述第1致動器；

第1連接部，其在位于包含所述反射鏡部的靜止時的所述反射面的平面內的第1軸上連接所述反射鏡部和所述第1致動器，并且將所述反射鏡部支承為能夠繞所述第1軸轉動；

第2連接部，其在包含所述反射鏡部的靜止時的所述反射面的平面內的與所述第1軸正交的第2軸上連接所述第1致動器和第2致動器，并且將所述第1致動器支承為能夠繞所述第2軸轉動；

第3連接部，其在所述第2軸上連接于所述第2致動器的外周；以及

固定部，其連接有所述第3連接部，并經由該第3連接部支承所述第2致動器，

所述第1致動器以及所述第2致動器分別為具備壓電元件的壓電致動器，

在俯視的狀態下，在所述反射鏡部與所述固定部之間僅具有所述第1致動器和所述第2致動器作為包圍所述反射鏡部的環狀的部件，

所述第1致動器為1重的環狀，

所述第2致動器為1重的環狀，

所述第1致動器以及所述第2致動器使繞所述第1軸的旋轉扭矩作用于所述反射鏡部，并且使繞所述第2軸的旋轉扭矩作用于所述反射鏡部以及第1致動器，由此繞所述第1軸以及所述第2軸二維旋轉驅動所述反射鏡部。

2.根據權利要求1所述的微鏡器件，其中，

所述第1致動器包含半環狀的一對第1可動部，

所述第2致動器包含半環狀的一對第2可動部，

所述第1連接部在所述第1軸上分別連接所述反射鏡部和所述一對第1可動部各自的一端、以及所述反射鏡部和所述一對第1可動部各自的另一端，

所述第2連接部在所述第2軸上分別連接所述一對第1可動部中的一個和所述一對第2可動部各自的一端、以及所述一對第1可動部中的另一個和所述一對第2可動部各自的另一端。

3.根據權利要求1或2所述的微鏡器件，其中，

在所述反射鏡部繞所述第1軸傾斜振動且以所述反射鏡部和所述第1致動器以彼此相反的相位傾斜振動的共振模式中最低階模式驅動的情況下，

所述反射鏡部的位移傾斜量|Zm/Lm|與所述第1致動器的位移傾斜量|Za₁₁/La₁₁|之比R1＝|Zm/Lm|/|Za₁₁/La₁₁|為9.4≤R1≤87。

4.根據權利要求3所述的微鏡器件，其中，

所述比R1為16≤R1。

5.根據權利要求1或2所述的微鏡器件，其中，

在所述反射鏡部以及所述第1致動器繞所述第2軸傾斜振動且以所述反射鏡部以及所述第1致動器、和所述第2致動器以彼此相反的相位傾斜振動的共振模式中最低階模式驅動的情況下，

所述第1致動器的位移傾斜量|Za₁₂/La₁₂|與所述第2致動器的位移傾斜量|Za₂₂/La₂₂|之比R2＝|Za₁₂/La₁₂|/|Za₂₂/La₂₂|為0.75≤R2≤27。

6.根據權利要求5所述的微鏡器件，其中，

所述比R2為2.3≤R2。

7.根據權利要求1或2所述的微鏡器件，其中，

所述固定部具有大于所述反射鏡部、所述第1致動器以及所述第2致動器的厚度。

8.根據權利要求7所述的微鏡器件，其中，

所述第1致動器具備由與所述固定部相同的厚度的結構體構成的第1阻擋部。

9.根據權利要求7所述的微鏡器件，其中，

所述第2致動器具備由與所述固定部相同的厚度的結構體構成的第2阻擋部。