[發明專利]放射線檢測裝置

在審

• 申請號: 201980069231.9
• 申請日: 2019-10-16
• 公開（公告）號: CN112912769A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 島田修;本村知久;谷森達;高田淳史
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: G01T1/18
• 分類號: G01T1/18;H01J47/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳秋明

一種放射線檢測裝置，具有檢測元件、布線層和電路元件，所述檢測元件包括：基材，具有第1面以及第1面的相反側的第2面；第1電極，配置在第1面；第2電極，在第1方向上與第1電極相鄰；第3電極，在與第1方向交叉的第2方向上與第1電極相鄰；第4電極，在第1方向上與第3電極相鄰，在第2方向上與第2電極相鄰；和配置在基材的第1面上，設置在第1電極與第2電極之間、第1電極與第3電極之間、第2電極與第4電極之間以及第3電極與第4電極之間的第5電極，布線層配置在第2面側，包含與第1電極連接的第1布線、與第2電極連接的第2布線、與第3電極連接的第3布線以及與第4電極連接的第4布線，電路元件與布線層對置地配置，與第1布線、第2布線、第3布線以及第4布線連接。

技術領域

本公開涉及放射線檢測裝置。

背景技術

基于像素型電極的氣體電子放大型的放射線檢測裝置的研究正在推進。這樣的放射線檢測裝置通過使用像素型電極來檢測放射線。此時，能夠檢測帶電粒子的軌跡(例如參照專利文獻1)。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-6047號公報

專利文獻2：日本專利5790750號公報

專利文獻3：日本專利5515881號公報

發明內容

發明要解決的課題

根據在專利文獻1～3中公開的放射線檢測裝置，由于放射線(帶電粒子)與氣體進行相互作用而產生電子，在像素型電極中捕捉該電子，由此間接地檢測放射線。在該情況下，在像素型電極中使用的陽極電極以及陰極電極分別在正交的方向上連接，信號被檢測為X方向、Y方向上的矩陣，從裝置端部進行信號的取出。然而，在使用了該檢測方法的情況下，在分隔開的場所中同時產生了檢測信號的情況下，存在難以將這些信號分離的情況。

此外，在以往的檢測方法的情況下，檢測元件隔著設置在元件端部的布線基板等與周邊電路連接，但是由于微弱信號而容易載入噪聲，因此存在檢測精度下降的情況。

此外，如專利文獻2那樣，為了保護微弱信號，需要屏蔽構件(未圖示)。

本公開的目的之一在于，提供一種位置檢測精度高的放射線檢測裝置。

用于解決課題的手段

在本公開的一個實施方式中，提供一種放射線檢測裝置，其具有檢測元件、布線層和電路元件，所述檢測元件：基材，具有第1面以及第1面的相反側的第2面；第1電極，配置在第1面；第2電極，在第1方向上與第1電極相鄰；第3電極，在與第1方向交叉的第2方向上與第1電極相鄰；第4電極，在第1方向上與第3電極相鄰，在第2方向上與第2電極相鄰；和配置在基材的第1面上，設置在第1電極與第2電極之間、第1電極與第3電極之間、第2電極與第4電極之間以及第3電極與第4電極之間的第5電極，所述布線層配置在第2面側，包含與第1電極連接的第1布線、與第2電極連接的第2布線、與第3電極連接的第3布線以及與第4電極連接的第4布線，所述電路元件與布線層對置地配置，與第1布線、第2布線、第3布線以及第4布線連接。

在上述放射線檢測裝置中，也可以是，第1電極、第2電極、第3電極以及第4電極具有從第1面貫通到第2面的部分。

在上述放射線檢測裝置中，也可以是，第5電極具有包圍第1電極的第1開口部、包圍第2電極的第2開口部、包圍第3電極的第3開口部以及包圍第4電極的第4開口部。

在上述放射線檢測裝置中，也可以是，第1開口部、第2開口部、第3開口部以及第4開口部具有圓形形狀。

在上述放射線檢測裝置中，也可以是，還包含第2檢測元件，與檢測元件分隔開地設置。