[發(fā)明專利]管及處理裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980069106.8
• 申請日: 2019-10-17
• 公開（公告）號: CN112955687A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設計）人: 小林英司;虎井真司;吉本周平
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: F16L11/06
• 分類號: F16L11/06;F16L11/12
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 金輝;崔炳哲

本發(fā)明提供一種管(1)，其具有撓性，具有筒狀的外周面(10)和筒狀的內周面(20)。外周面(10)具有向外側凸出的角部(11)。內周面(20)具有位于角部(11)的內側且曲率半徑大于角部(11)的第一弧狀部(21)。當從外部受到壓力時或管(1)局部彎折時，具有這樣的形狀的管(1)的內周面(20)不易緊密接觸。因此，能夠防止管(1)內的流路(2)被堵塞。

技術領域

本發(fā)明涉及一種撓性管及具備該管的處理裝置。

背景技術

以往，在半導體晶片、平板顯示器(例如，液晶顯示器、有機EL顯示器)、化學電池(例如，鋰離子電池、燃料電池)等精密電子部件的制造裝置中，使用許多管來使各種藥液、純水或者氮氣等氣體流動。另外，在商業(yè)印刷用噴墨印刷裝置中，使用許多管來使墨水流動。另外，在醫(yī)藥品的制造裝置或食品的制造裝置中，使用許多管來使原材料流動。另外，在醫(yī)療設備或建筑等其他領域中，也會用到使液體或氣體流動的管。

為了方便配設，優(yōu)選管柔軟地撓曲變形。因此，許多管由橡膠或撓性樹脂形成。關于以往的管，例如專利文獻1、2有所記載。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2018-003895號公報

專利文獻2：國際公開第2014/157164號

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的問題

但是，如專利文獻1、2所記載的那樣，如果管是圓筒狀，則當從外部向管施加壓力時，或者管的局部以大角度彎折時，會發(fā)生管被壓壞進而內部的流路被堵塞的情況。圖9是表示使以往的圓筒狀的管彎折時彎折位置的情況的照片。圖10是表示使以往的圓筒狀的管T彎折時彎折位置的截面的情況的圖。圖11是表示將以往的圓筒狀的管T載置于平面上并從上部施加壓力F時管T的截面的情況的圖。如圖9～圖11所示，在以往的圓筒狀的管T中，發(fā)生變形時，管T的內周面中相向的面容易緊密接觸。由此，管T內的流路容易被堵塞。

本發(fā)明鑒于這樣的情況而提出，其目的在于，提供一種能夠在從外部向管施加壓力時或者管發(fā)生局部彎折時抑制管內流路的堵塞的管及具備該管的處理裝置。

用于解決問題的手段

為解決上述課題，本申請的第一發(fā)明是一種管，具有撓性，其具有筒狀的外周面與筒狀的內周面，所述外周面具有向外側凸出的角部，所述內周面具有位于所述角部的內側且曲率半徑大于所述角部的第一弧狀部。

本申請的第二發(fā)明根據第一發(fā)明的管，具有沿周向排列的多個厚壁部，多個所述厚壁部分別具有所述角部和所述第一弧狀部。

本申請的第三發(fā)明根據第二發(fā)明的管，在相鄰的所述厚壁部之間，具有厚度小于所述厚壁部的薄壁部。

本申請的第四發(fā)明根據第三發(fā)明的管，所述厚壁部的數量為奇數。

本申請的第五發(fā)明根據第四發(fā)明的管，所述外周面具有三個所述角部和位于相鄰的所述角部之間的平面狀的邊部，所述內周面為包括所述第一弧狀部的圓筒狀。

本申請的第六發(fā)明根據第一發(fā)明至第五發(fā)明中任一發(fā)明的管，所述內周面構成成流路。

本申請的第七發(fā)明根據第一發(fā)明至第五發(fā)明中任一發(fā)明的管，所述管安裝在其他管的外周面。

本申請的第八發(fā)明是一種處理裝置，具備利用流體對對象物進行處理的處理部和第一發(fā)明至第七發(fā)明中任一發(fā)明的管，通過所述管，進行向所述處理部供給所述流體以及從所述處理部排出所述流體中的至少一方。

發(fā)明效果

根據本申請的第一發(fā)明至第八發(fā)明，從外部向管施加壓力時以或管局部彎折時，管的內周面不易緊密接觸。因此，能夠防止管內的流路被堵塞。