[發明專利]通過卷對卷處理制造的觸覺致動器

在審

• 申請號: 201980069002.7
• 申請日: 2019-10-11
• 公開（公告）號: CN113168749A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: S.A.馬什
• 申請（專利權）人: 恩賽特有限責任公司
• 主分類號: G08B6/00
• 分類號: G08B6/00;B81B3/00;G06F3/01
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 賀紫秋

1.一種設備包括：

第一主體層，具有第一表面和相反的第二表面，該第一主體層具有由至少一個內壁限定的腔室；

柱塞構件，設置在腔室中，該柱塞構件與腔室的至少一個內壁物理地間隔開，該柱塞構件具有第一表面和相反的第二表面。

膜，具有第一表面和第二表面，該第一表面附接到第一主體層的第一表面并且附接到柱塞構件的第一表面；

第一電極，被支撐在膜的第二表面上；和

第二主體層，支撐第二電極，第二主體層附接到第一主體層的第二表面。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，所述設備是微靜電觸覺致動器，以及第二主體層是復合第二主體層，其包括：

具有第一和第二表面的第一層，第一主體層的第一表面固定到第二主體層的第二表面；

附接到第二主體層的第二表面的第二層，第二電極設置在第二層上。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，所述設備是微靜電觸覺致動器，以及第二主體層具有由內底終止的腔室，第二主體層在第一主體層的第二表面上方附接到第一主體層，以及第二主體層具有第二電極。

4.根據權利要求1所述的設備，還包括：

在第一電極上方的第一密封層和在第二電極上方的第二密封層。

5.根據權利要求1所述的設備，其中，第一主體層、柱塞構件、膜、第二主體層以及第一和第二電極包括觸覺致動器元件。

6.根據權利要求5所述的設備，其中，所述觸覺致動器元件是第一觸覺致動器元件，以及所述觸覺致動器還包括：

以堆疊方式設置在第一觸覺致動器元件上的至少一個額外觸覺致動器元件。

7.根據權利要求1所述的設備，其中，所述柱塞是圓柱形的。

8.根據權利要求1所述的設備，還包括：

粘合劑層，用于將膜附接到第一主體層。

9.根據權利要求1所述的設備，還包括：

粘合劑層，用于將柱塞附接到膜。

10.根據權利要求1所述的設備，其中，第一主體層具有的高度為25微米至250微米的范圍。

11.根據權利要求1所述的設備，還包括：

電子驅動電路，其具有聯接到第一和第二電極的信號線。

12.根據權利要求11所述的設備，其中，所述電子驅動電路響應于輸入并且被配置為跨經第一電極和第二電極產生電荷差，以使所述柱塞撞擊第二主體層的一部分。

13.根據權利要求2所述的設備，還包括：

電子驅動電路，其響應于輸入而跨經第一電極和第二電極提供電荷差，以使柱塞的第二表面撞擊第二層的一部分。

14.根據權利要求3所述的設備，還包括：

電子驅動電路；

電子驅動電路響應于輸入而跨經第一和第二電極提供電荷差，以使柱塞撞擊腔室的內底。

15.一種制造微觸覺致動器的方法，該方法包括：

在柔性材料的第一片材的主表面上提供粘合劑層；

對粘合劑進行圖案化以從將與腔室相對應的所有區域清除粘合劑；

對清除了粘合劑的第一片材的區域進行圖案化，以提供設置在相應腔室區域中的柱塞區域，其中，柱塞區域具有將柱塞拴系到片材的其余部分的系繩元件；

用該圖案化的粘合劑層將具有第一導電層的膜片材固定到柱塞區域的頂部和該片材的剩余部分；和

將支撐第二導電層的第二片材粘附到第一片材的與膜層相對的表面。