[發(fā)明專利]具有繼電器熱開關(guān)檢測的自動化測試裝備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980068499.0
• 申請日: 2019-10-17
• 公開（公告）號: CN112867931A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 艾倫·B·胡西;理查德·約翰·伯恩斯;格雷戈里·史密斯;馬克·艾倫·萊文
• 申請（專利權(quán)）人: 泰瑞達(dá)公司
• 主分類號: G01R31/327
• 分類號: G01R31/327;G01R31/28;G01R29/08
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 趙曉祎;戚傳江

本公開提供了用于在自動化測試系統(tǒng)中檢測和識別熱開關(guān)事件的原因的裝置和方法。可使用定位在系統(tǒng)中的機(jī)械繼電器附近的一個(gè)或多個(gè)天線來感測電磁輻射。天線可被配置成對在熱開關(guān)事件期間生成的類型的電磁輻射進(jìn)行響應(yīng)。可處理由天線測量的信號以確定該信號是否具有熱開關(guān)事件的特性。處理可需要生成信號包絡(luò)并確定該包絡(luò)是否具有指示熱開關(guān)事件的特性。當(dāng)檢測到熱開關(guān)事件時(shí)，還可捕獲將該事件與測試系統(tǒng)中的其他事件相關(guān)的信息。該信息可為時(shí)間信息，從而使得能夠?qū)y試系統(tǒng)程序指令進(jìn)行編程以在該事件被識別時(shí)執(zhí)行，使得測試系統(tǒng)可被重新編程以避免熱開關(guān)事件。

相關(guān)專利申請的交叉引用

本專利申請按照美國法典第35卷第120條款的規(guī)定要求2018年10月19日以代理人案卷號T0529.70166US00提交并且名稱為“AUTOMATED TEST EQUIPMENT WITH RELAY HOT-SWITCH DETECTION”的美國非臨時(shí)專利申請序列號16/165,038的權(quán)益，該專利申請據(jù)此全文以引用方式并入本文。出于美利堅(jiān)合眾國的目的，本專利申請將被視為2018年10月19日提交的美國專利申請?zhí)?6/165,038的繼續(xù)申請。

背景技術(shù)

技術(shù)領(lǐng)域

本技術(shù)涉及用于校準(zhǔn)自動化測試裝備(ATE)的測試通道和可靠性提高的方法和結(jié)構(gòu)。

相關(guān)領(lǐng)域

參考圖1，用于半導(dǎo)體設(shè)備的常規(guī)的測試配置100可包括自動化測試裝備(有時(shí)稱為“測試器”或“ATE”)。測試器110可包括測試器資源，有時(shí)稱為生成或測量測試信號的儀器。在測試器內(nèi)，測試器資源連接到通道接觸件，從而形成測試器接口131。每個(gè)通道接觸件可通過設(shè)備接口連接到待測設(shè)備150上的測試點(diǎn)。

設(shè)備接口的性質(zhì)可取決于待測設(shè)備的具體細(xì)節(jié)。在一些具體實(shí)施中，待測設(shè)備150可為晶圓，而在其他具體實(shí)施中，待測設(shè)備可為一個(gè)或多個(gè)封裝的集成電路。這些差異使同一測試器110、即ATE能夠用于在將晶圓切片之前測試在晶圓上的集成電路設(shè)備或用于在集成電路已經(jīng)被封裝之后測試集成電路。為了測試封裝的設(shè)備，設(shè)備接口可為設(shè)備接口板135，如圖1所示。但是，在其他具體實(shí)施中，可使用其他設(shè)備接口，包括例如用于連接到晶圓來進(jìn)行測試的探針卡。

因此，通過改變設(shè)備接口，可使用同一測試器110來在集成電路的制造的不同階段上測試該集成電路。此外，測試器110是可編程的，并且可測試需要生成或測量不同類型的測試信號的不同類型的設(shè)備，以確定待測設(shè)備是否正確地操作。即使在待測設(shè)備的測試期間，也可在不同的時(shí)間上生成或測量不同類型的測試信號。

為了支持這些不同的測試需要，測試配置100可包括繼電器，該繼電器可斷開或閉合以將特定測試器資源選擇性地連接到在待測設(shè)備上的測試點(diǎn)。測試器110可為可編程的，使得被編程到測試器110中來用于對特定設(shè)備執(zhí)行特定測試的測試系統(tǒng)指令的執(zhí)行控制繼電器的狀態(tài)，使得適當(dāng)?shù)臏y試器資源連接到適當(dāng)?shù)臏y試點(diǎn)。

通常，繼電器是機(jī)械繼電器，因?yàn)榇祟惱^電器由于繼電器中的金屬接觸件在繼電器閉合時(shí)彼此相觸而提供非常低的導(dǎo)通電阻。然而，由于被稱為“熱開關(guān)”的現(xiàn)象，機(jī)械繼電器易損壞。在繼電器斷開或閉合而在繼電器內(nèi)的接觸件兩端存在電壓時(shí)，就會發(fā)生熱開關(guān)。在熱開關(guān)期間，繼電器內(nèi)的接觸件在它們閉合時(shí)相觸，這將生成大量電流，并且繼而產(chǎn)生可能會損壞接觸件的熱量。

由于測試程序的編寫方式，熱開關(guān)可能在測試系統(tǒng)中無意中發(fā)生。在程序中的指令(改變繼電器的狀態(tài))可在繼電器兩端存在電壓時(shí)執(zhí)行，例如當(dāng)繼電器接觸件中的一個(gè)或兩個(gè)繼電器接觸件連接到電壓源時(shí)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明人已經(jīng)認(rèn)識到并理解，可通過提供檢測熱開關(guān)的機(jī)制來提高測試系統(tǒng)的可靠性。檢測到的熱開關(guān)事件可與觸發(fā)熱開關(guān)的測試系統(tǒng)程序指令相關(guān)，使得測試系統(tǒng)可被重新編程以避免熱開關(guān)和因此而造成的損壞。