[發(fā)明專利]用于選擇性SEM自動聚焦的系統(tǒng)和方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980067572.2 | 申請日： | 2019-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN112840433A | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 伯納德·G·穆勒;庫普雷特·辛格·維迪;尼古拉·克努布 | 申請（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料公司 |
| 主分類號： | H01J37/22 | 分類號： | H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/21 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國;趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 選擇性 sem 自動 聚焦 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種用于使掃描式電子顯微鏡(SEM)聚焦的方法，所述方法包括：
使用第一聚焦條件獲取樣本的第一SEM圖像；
分析所述第一SEM圖像，以確定多個對比改變測量結(jié)果；
基于這些對比改變測量結(jié)果確定感興趣區(qū)；
至少部分地基于所述感興趣區(qū)將所述SEM從所述第一聚焦條件調(diào)整至第二聚焦條件，其中所述第一聚焦條件不同于所述第二聚焦條件；和
使用所述第二聚焦條件獲取所述樣本的第二SEM圖像。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一SEM圖像包括復(fù)數(shù)個像素，并且其中分析所述第一SEM圖像包括：
將所述SEM圖像的所述復(fù)數(shù)個像素的每個像素與所述復(fù)數(shù)個像素的每個相鄰像素比較；和
針對所述復(fù)數(shù)個像素的每個像素確定對比改變測量結(jié)果。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中確定所述感興趣區(qū)包括：
確定來自這些對比改變測量結(jié)果的最大對比改變測量結(jié)果，和確定在所述第一SEM圖像內(nèi)的所述最大對比改變測量結(jié)果的位置；和
將所述感興趣區(qū)的位置設(shè)定成對應(yīng)于所述最大對比改變測量結(jié)果的所述位置。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的方法，進一步包括：
從每一個對比改變測量結(jié)果產(chǎn)生對比改變圖。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的方法，其中分析所述第一SEM圖像進一步包括：
從所述第一SEM圖像確定對比改變基線；和
將這些對比改變測量結(jié)果中的每一個與所述對比改變基線比較，以產(chǎn)生基線對比改變測量結(jié)果。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中確定所述對比改變基線包括從這些對比改變測量結(jié)果確定平均對比改變測量結(jié)果。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的方法，其中所述感興趣區(qū)的面積小于所述第一SEM圖像的面積。
8.一種用于使掃描式電子顯微鏡(SEM)聚焦的計算機程序產(chǎn)品，所述計算機程序產(chǎn)品包括：
非暫時性計算機可讀存儲介質(zhì)，具有包含在所述非暫時性計算機可讀存儲介質(zhì)中的計算機可讀程序代碼，所述計算機可讀程序代碼是通過一個或多個計算機處理器而可執(zhí)行的，以：
使用第一聚焦條件獲取樣本的第一SEM圖像；
分析第一SEM圖像，以確定多個對比改變測量結(jié)果；
基于這些對比改變測量結(jié)果確定感興趣區(qū)；
至少部分地基于所述感興趣區(qū)將所述SEM從所述第一聚焦條件調(diào)整至第二聚焦條件，其中所述第一聚焦條件不同于所述第二聚焦條件；并且
使用所述第二聚焦條件獲取所述樣本的第二圖像。
9.如權(quán)利要求8所述的計算機程序產(chǎn)品，其中所述第一SEM圖像包括復(fù)數(shù)個像素，并且其中分析所述第一SEM圖像包括：
將所述第一SEM圖像的所述復(fù)數(shù)個像素的每個像素與所述復(fù)數(shù)個像素的每個相鄰像素比較；和
針對所述復(fù)數(shù)個像素的每個像素確定對比改變測量結(jié)果。
10.如權(quán)利要求9所述的計算機程序產(chǎn)品，其中確定所述感興趣區(qū)包括：
確定來自這些對比改變測量結(jié)果的最大對比改變測量結(jié)果，和確定所述第一SEM圖像內(nèi)的所述最大對比改變測量結(jié)果的位置；和
將所述感興趣區(qū)的位置設(shè)定成對應(yīng)于所述最大對比改變測量結(jié)果的所述位置。
11.如權(quán)利要求8至10中任一項所述的計算機程序產(chǎn)品，進一步包括：
從每一個對比改變測量結(jié)果產(chǎn)生對比改變圖。
12.如權(quán)利要求8至11中任一項所述的計算機程序產(chǎn)品，其中分析所述第一SEM圖像進一步包括：
從所述第一SEM圖像確定對比改變基線；和
將這些對比改變測量結(jié)果中的每一個與所述對比改變基線比較，以產(chǎn)生多個基線對比改變測量結(jié)果。
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