[發明專利]氧化膜厚測量裝置以及該方法

有效

• 申請號: 201980066366.X
• 申請日: 2019-10-07
• 公開（公告）號: CN112823270B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發明（設計）人: 乾昌廣;高松弘行;中西良太
• 申請（專利權）人: 株式會社神戶制鋼所
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01J5/00;C23C2/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳克鵬

本發明的氧化膜厚測量裝置針對將膜厚測量范圍劃分的多個子膜厚測量范圍分別存儲有膜厚與發射率的對應關系的膜厚轉換信息，在該子膜厚測量范圍內，相對于膜厚變化的發射率變化之比處于設定范圍內，以不同的多個測量波長測量鋼板表面的發光亮度并測量其溫度，求出所述多個測量波長的各個波長下的各發射率，針對按各測量波長求出的各發射率，通過使用與該測量波長相對應的膜厚轉換信息，求出與該測量波長下的發射率相對應的膜厚和該膜厚下的比，并且在該求出的比處于與該膜厚轉換信息相對應的指定的設定范圍內的情況下，將該求出的膜厚作為實際的膜厚的候選值而提取。

技術領域

本發明涉及一種測量在鋼板表面生成的氧化物的膜厚的氧化膜厚測量裝置以及氧化膜厚測量方法。

背景技術

熱浸鍍鋅鋼板具有優異的耐腐蝕性、加工性以及表面美觀等各種特性，因此，適合作為例如汽車用鋼板而被使用。已知在該熱浸鍍鋅中，在退火步驟生成于鋼板表面的氧化物對在熱浸鍍鋅步驟形成的鍍層的鍍覆特性帶來壞影響。因此，需要測量所述氧化物的膜厚，并且需要在還原步驟適當地還原所述氧化物，所以所述氧化物的膜厚測量是重要的。

作為測量此種所述氧化物的膜厚的技術，有預先求出鋼板表面的發射率(emissivity)與氧化物的膜厚的關系，根據所述關系，求出與通過測量獲得的發射率相對應的氧化物的膜厚的技術(例如參照專利文獻1)。

鋼板表面的發射率與氧化物的膜厚的關系一般具有隨著氧化物的膜厚增加而鋼板表面的發射率單調地增加后達到峰值，其后減少或反復增減的輪廓(profile)。因此，如果通過使用該關系來求出與通過測量獲得的發射率相對應的氧化物的膜厚，則可能發生氧化物的膜厚不能決定為1個的情況。因此，通過使用所述關系求出氧化物的膜厚的情況下，存在只能測量到與所述峰值對應的膜厚的限制。而且，在該限制下，即使在鋼板表面的發射率和氧化物的膜厚一對一地對應的范圍求出氧化物的膜厚，在相對于膜厚變化的發射率變化之比(斜率)小的情況下，因通過測量獲得的發射率的一點點偏差，就會使氧化物的膜厚較大地變化，難以精確地求出氧化物的膜厚。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本發明專利公開公報特開平3-293504號

發明內容

本發明是鑒于所述的情況而作出的發明，其目的在于提供一種能夠在更廣的范圍更精確地測量氧化物的膜厚的氧化膜厚測量裝置以及氧化膜厚測量方法。

本發明所涉及的氧化膜厚測量裝置以及氧化膜厚測量方法針對將膜厚測量范圍劃分的多個子膜厚測量范圍分別準備膜厚與發射率的對應關系的膜厚轉換信息，在該子膜厚測量范圍內，相對于膜厚變化的發射率變化之比處于設定范圍內，以不同的多個測量波長測量鋼板表面的發光亮度并測量其溫度，求出所述多個測量波長的各波長下的各發射率，針對這些按各測量波長求出的鋼板表面的各發射率，通過使用與該測量波長相對應的膜厚轉換信息，求出與該測量波長下的發射率相對應的膜厚和該膜厚下的比，并且在該求出的比處于與該膜厚轉換信息相對應的指定的設定范圍內的情況下，將該求出的膜厚作為實際的膜厚的候選值而提取。

所述以及其他的本發明的目的、特征以及優點通過以下的詳細記載和附圖將更加明了。

附圖說明

圖1是表示實施方式中的氧化膜厚測量裝置的結構的框圖。

圖2是用于說明將所述氧化膜厚測量裝置的第一及第二發光亮度測量部和溫度測量部安裝于鋼板的輸送路上的配置方式的剖視圖。

圖3是用于說明存儲于所述氧化膜厚測量裝置的多個膜厚轉換信息的圖。

圖4是表示不同測量波長下的氧化物的膜厚與發射率之間的關系的圖。

圖5是說明用于計算單層膜的反射率的計算模型的圖。

圖6是表示所述氧化膜厚測量裝置的動作的流程圖。