[發(fā)明專利]用于控制真空泵的溫度的方法以及相關的真空泵和設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980066007.4
• 申請日: 2019-09-26
• 公開（公告）號: CN112805472B
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發(fā)明（設計）人: Y·格勒尼耶;P·德科爾德
• 申請（專利權）人: 普發(fā)真空公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C29/04;F04C23/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 雷明;吳鵬

1.一種用于控制承受可變的泵送負載的干式真空泵型的真空泵（2）的溫度的方法（100），所述真空泵（2）包括：

定子（5），

至少一個泵送級（T1-T5），

兩個軸（6，7），其延伸進入所述至少一個泵送級（T1-T5）中并且分別承載至少一個轉子（8），這些轉子（8）被配置成在定子（5）中沿相反方向同步旋轉，以驅動將被從真空泵（2）的吸入口（9）泵送至輸出口（10）的氣體（G），

與定子（5）聯(lián)接的至少一個冷卻元件（11a、11b），

至少一個溫度傳感器（12a、12b），其被配置成進行定子（5）的溫度的測量，以及

控制單元（13），其被配置成借助于所述至少一個冷卻元件（11a、11b）和所述至少一個溫度傳感器（12a、12b）來控制定子（5）的溫度，

其中，根據(jù)溫度設定點和定子（5）的溫度測量值，借助于與定子（5）聯(lián)接的所述至少一個冷卻元件（11a、11b）來控制真空泵（2）的溫度，其特征在于，監(jiān)控選自真空泵（2）所消耗的功率或所吸取的電流的、指示泵送負載的參數(shù)的值是否低于負載閾值，并且如果指示泵送負載的參數(shù)的值低于負載閾值（S），則升高溫度設定點。

2.根據(jù)前一項權利要求所述的方法（100），其特征在于，升高溫度設定點以便至少用于借助于與真空泵（2）的被稱為低壓泵送級的泵送級（T1）聯(lián)接的冷卻元件（11a）來進行溫度控制。

3.根據(jù)前述權利要求之一所述的方法（100），其中，在已經升高溫度設定點之后，監(jiān)控指示泵送負載的參數(shù)的值是否高于負載閾值（S），并且，如果指示泵送負載的參數(shù)的值高于負載閾值（S），則在預定的附加時間長度內保持升高的溫度設定點。

4.根據(jù)前一項權利要求所述的方法（100），其中，所述預定的附加時間長度大于十分鐘。

5.根據(jù)權利要求1或2所述的方法（100），其中，溫度設定點的升高值大于3℃。

6.根據(jù)權利要求1或2所述的方法（100），其中，溫度設定點的升高值小于20℃。

7.一種干式真空泵型的真空泵（2），其包括：

定子（5），

至少一個泵送級（T1-T5），

兩個軸（6，7），其延伸進入所述至少一個泵送級（T1-T5）中并且分別承載至少一個轉子（8），這些轉子（8）被配置成在定子（5）中沿相反方向同步旋轉，以驅動將被從真空泵（2）的吸入口（9）泵送至輸出口（10）的氣體（G），

與定子（5）聯(lián)接的至少一個冷卻元件（11a、11b），

至少一個溫度傳感器（12a、12b），其被配置成進行定子（5）的溫度的測量，以及

控制單元（13），其被配置成借助于所述至少一個冷卻元件（11a、11b）和所述至少一個溫度傳感器（12a、12b）來控制定子（5）的溫度，

其特征在于，所述控制單元（13）被配置成執(zhí)行根據(jù)前述權利要求之一所述的方法（100）。

8.根據(jù)前一項權利要求所述的干式真空泵型的真空泵（2），其特征在于，所述真空泵是粗真空泵。

9.根據(jù)權利要求7或8所述的干式真空泵型的真空泵（2），其特征在于，所述真空泵包括與所述定子（5）聯(lián)接的兩個冷卻元件（11a、11b），所述真空泵（2）的每個軸向端布置一個冷卻元件（11a、11b）。

10.一種包括腔室（3）的泵送設備（1），其特征在于，它包括根據(jù)權利要求7至9之一所述的干式真空泵型的真空泵（2），該真空泵連接至腔室（3）以用于所述腔室（3）中的泵送。