[發(fā)明專利]可拆卸的熱矯平器

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980064328.0
• 申請(qǐng)日: 2019-07-26
• 公開（公告）號(hào): CN112789714A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇達(dá)山·納塔拉詹;范煒;劉翔;格雷戈里·謝弗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 莫門蒂夫性能材料股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王瑞朋;陳琦

1.一種設(shè)備，包括與蓋板可釋放地相關(guān)聯(lián)的熱矯平器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述熱矯平器經(jīng)由夾具、螺栓、螺紋、凸輪鎖、保持溝槽、保持環(huán)、彈簧、真空、靜電力、電磁力、磁力、粘合劑、焊料或軟膏與所述蓋板可釋放地相關(guān)聯(lián)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，包括基座板，其中所述熱矯平器設(shè)置在所述蓋板與基座板之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中，所述熱矯平器與所述基座板可拆卸地相關(guān)聯(lián)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中：

所述基座板包括下表面、圍繞所述基座板的周邊延伸的一個(gè)或更多個(gè)側(cè)壁以及被限定在一個(gè)或更多個(gè)側(cè)壁之間的開口，所述熱矯平器設(shè)置在所述開口內(nèi)，并且所述一個(gè)或更多個(gè)側(cè)壁具有鄰近所述一個(gè)或更多個(gè)側(cè)壁的上端部的螺紋表面；

其中，所述蓋板設(shè)定尺寸為安裝在所述基座板的開口內(nèi)，并且包括螺紋側(cè)表面以接合所述基座板的螺紋表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中：

所述基座板包括上表面、下表面和螺紋側(cè)表面，所述上表面支撐所述熱矯平器；

所述蓋板包括上表面、從所述蓋板的上表面向下延伸并圍繞蓋板的周邊延伸的一個(gè)或更多個(gè)側(cè)壁、以及被限定在所述一個(gè)或更多個(gè)側(cè)壁之間的開口，該開口設(shè)定尺寸為環(huán)繞所述熱矯平器和所述基座板，其中所述蓋板的一個(gè)或更多個(gè)壁包括螺紋表面以接合所述基座板的螺紋表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中

所述蓋板包括一個(gè)或更多個(gè)孔眼；

所述熱矯平器包括與所述蓋板的一個(gè)或更多個(gè)孔眼對(duì)齊的一個(gè)更多個(gè)孔眼；并且

所述基座板包括與所述熱矯平器的一個(gè)或更多個(gè)孔眼對(duì)齊的一個(gè)或更多個(gè)凹槽，其中所述蓋板、所述熱矯平器和所述基座板經(jīng)由穿過所述蓋板和所述熱矯平器的一個(gè)或更多個(gè)孔眼以及所述基座板的凹槽設(shè)置的緊固件可釋放地彼此連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其中，所述緊固件中的至少一個(gè)是鎖定到所述基座板的一個(gè)或更多個(gè)凹槽之一中的銷。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的設(shè)備，其中，所述基座板中的一個(gè)或更多個(gè)凹槽中的至少一個(gè)具有螺紋表面，并且所述緊固件中的至少一個(gè)是螺紋緊固件，其適于使至少一個(gè)或更多個(gè)凹槽與所述螺紋表面螺紋接合。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中，所述熱矯平器的上表面包括凹槽，所述蓋板的下表面包括突起，該突起與所述熱矯平器的上表面中的凹槽對(duì)齊并且尺寸適于與該凹槽配合。

11.根據(jù)權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中，所述熱矯平器包括熱解石墨。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，所述熱矯平器包括設(shè)置在上薄片和下薄片之間的熱解石墨薄片。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，所述熱矯平器由覆蓋層封裝。

14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的設(shè)備，其中，所述上薄片、所述下薄片或所述覆蓋層獨(dú)立地選自金屬或陶瓷材料。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其中，所述上薄片、所述下薄片或所述覆蓋層獨(dú)立地選自：鋁、銅、銀、金、鎳、鈹、錫、鉛、鋼、鋼合金、銅鎢、銅鉬、因瓦、鋁鈹、錫鉛；從硼、鋁、硅、鎵、釔、耐高溫硬金屬、過渡金屬組成的組選出的元素的氧化物、氮化物、碳化物、碳氮化物或氧氮化物。

16.根據(jù)權(quán)利要求1-15中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中，所述熱矯平器包括多個(gè)熱解石墨薄片。