[發明專利]放射線檢測器、放射線圖像攝影裝置及制造方法

在審

• 申請號: 201980063973.0
• 申請日: 2019-09-24
• 公開（公告）號: CN112789524A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 加藤宗貴;中津川晴康
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G01T1/20
• 分類號: G01T1/20;A61B6/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 高穎

1.一種放射線檢測器，其具備：

基板，在撓性基材的像素區域包括傳感器部層，所述傳感器部層具有積蓄對應于從放射線轉換的光而產生的電荷的多個像素；

轉換層，設置于所述基材的設置有所述像素區域的面側，且將所述放射線轉換為光；及

固定部件，設置得比所述轉換層更靠所述基板側，且將所述傳感器部層固定于所述基材。

2.根據權利要求1所述的放射線檢測器，其中，

所述固定部件構成為包含樹脂。

3.根據權利要求1或2所述的放射線檢測器，其中，

所述固定部件在所述傳感器部層的端部將所述傳感器部層固定于所述基材。

4.根據權利要求3所述的放射線檢測器，其中，

所述固定部件通過覆蓋從所述傳感器部層的所述轉換層側的面的至少一部分經由所述傳感器部層的端面至所述基材的所述傳感器部層側的面的至少一部分為止的區域而將所述傳感器部層固定于所述基材。

5.根據權利要求4所述的放射線檢測器，其中，

所述固定部件通過覆蓋從所述傳感器部層的所述轉換層側的面的整個面經由所述傳感器部層的端面至所述基材的所述傳感器部層側的面的至少一部分為止的區域而將所述傳感器部層固定于所述基材。

6.根據權利要求5所述的放射線檢測器，其中，

所述基材及所述固定部件包含相同的材料。

7.根據權利要求5或6所述的放射線檢測器，其中，

所述基材的熱膨脹系數CTE_flex與所述固定部件的熱膨脹系數CTE_sur之比為0.5≤CTE_sur/CTE_flex≤4。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的放射線檢測器，其中，

所述基材包含聚酰亞胺。

9.根據權利要求8所述的放射線檢測器，其中，

所述基材通過涂布而形成。

10.根據權利要求8或9所述的放射線檢測器，其中，

所述固定部件包含聚酰亞胺或Parylene。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的放射線檢測器，其中，

所述放射線檢測器還具備覆蓋所述轉換層的密封層，

所述固定部件的材質不同于所述密封層的材質。

12.根據權利要求1至11中任一項所述的放射線檢測器，其中，

所述轉換層是通過直接蒸鍍而形成CsI柱狀晶體的層，

所述放射線檢測器在所述柱狀晶體的前端部側還具備剛性高于所述基材的加固基板。

13.根據權利要求12所述的放射線檢測器，其中，

所述加固基板包含具有屈服點的材料。

14.根據權利要求12或13所述的放射線檢測器，其中，

所述加固基板設置于寬于設置有所述轉換層的區域的區域。

15.根據權利要求12至14中任一項所述的放射線檢測器，其中，

在所述基板的與設置有所述像素區域的面對置的面還具備剛性高于所述基材的強化部件。

16.一種放射線圖像攝影裝置，其具備：

權利要求1至15中任一項所述的放射線檢測器；

控制部，輸出用于讀取積蓄于所述多個像素的電荷的控制信號；及

電路部，通過撓性布線與所述放射線檢測器電連接，且根據所述控制信號從所述多個像素讀取電荷。

17.一種放射線檢測器的制造方法，在該放射線檢測器的制造方法中，

隔著剝離層在支撐體設置撓性基材，形成在所述基材的像素區域設置有傳感器部層的基板，其中，所述傳感器部層具有積蓄對應于從放射線轉換的光而產生的電荷的多個像素，

形成將所述傳感器部層固定于所述基材的固定部件，

在所述基材的設置有所述像素區域的面側形成將所述放射線轉換為光的轉換層，

在所述轉換層的與和所述基板側的面對置的一側的面相反的一側的面貼合剛性高于所述基材的加固基板，

從所述支撐體剝離設置有所述轉換層及所述加固基板的所述基板。