[發明專利]霧發生裝置以及霧成膜方法和霧成膜裝置

有效

• 申請號: 201980063513.8
• 申請日: 2019-07-18
• 公開（公告）號: CN112752616B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 西康孝
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: B05B17/04
• 分類號: B05B17/04;B05C9/10;B05D1/02;B05D3/06;C23C16/448;C23C16/455;C23C24/08;H01L21/205;H01L21/31
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于潔;龐東成

1.一種霧成膜裝置，其具備：

霧發生部，產生包含材料物質的微粒或分子的霧并送出包含所述霧的載氣；

霧噴出部，向基板噴出包含所述霧的所述載氣，

流路形成部，具有形成從所述霧發生部到所述霧噴出部為止的包含所述霧的所述載氣的流路的壁面，所述壁面的至少一部分由透光部件構成，

第1光照射部，隔著所述透光部件對包含所述霧的所述載氣照射第1光，

輸送所述基板的輸送部，以及

第2光照射部，該第2光照射部對由所述輸送部輸送的、被供給了所述霧的所述基板的表面照射第2光；

其中，所述第1光為波長400nm以下的紫外線光，所述第2光為波長400nm以下的紫外線光。

2.如權利要求1所述的霧成膜裝置，其中，

所述流路使包含所述霧的所述載氣以從第1方向朝向第2方向、從所述第2方向朝向所述第1方向的方式交替地通過。

3.如權利要求2所述的霧成膜裝置，其中，

所述流路為Z字形結構。

4.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述流路形成部具備防止所述流路的溫度變化的隔熱部。

5.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述流路形成部具備對所述流路的溫度進行調整的溫度調整部。

6.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述流路形成部具有由石英構成的圓管狀或平面狀的壁面。

7.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述流路形成部對附著于所述流路形成部的至少一部分的內壁并液化的所述霧的液滴的接觸角為90度以上。

8.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述第1光為波長200nm以下的紫外線光。

9.如權利要求1所述的霧成膜裝置，其中，

所述第2光為波長200nm以下的紫外線光。

10.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述第1光照射部具備產生所述第1光的第1光源，所述第1光源是在波長180nm～400nm之間具有多個明線光譜的低壓汞放電燈、在波長172nm具有明線光譜的準分子放電燈、或者在波長200nm以下具有光譜分布的封入有氙氣的真空紫外閃光燈。

11.如權利要求1所述的霧成膜裝置，其中，

所述第2光照射部具備產生所述第2光的第2光源，

所述第2光源是在波長180nm～400nm之間具有多個明線光譜的低壓汞放電燈、在波長172nm具有明線光譜的準分子放電燈、或者在波長200nm以下具有光譜分布的封入有氙氣的真空紫外閃光燈。

12.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述第1光照射部具備產生所述第1光的第1光源，

所述第1光源為發射出波長200nm以下的激光的激光源。

13.如權利要求1所述的霧成膜裝置，其中，

所述第2光照射部具備產生所述第2光的第2光源，

所述第2光源為發射出波長200nm以下的激光的激光源。

14.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述霧發生部具備：第1容器，收納包含所述微粒的液體；第1振動源，對所述第1容器施加從所述第1容器內的所述液體產生所述霧的第1頻率的振動；以及第2振動源，對所述液體施加低于所述第1頻率的第2頻率的振動。

15.如權利要求1或2所述的霧成膜裝置，其中，

所述流路具備形成貯存包含所述霧的載氣的內部空間的內壁面。