[發(fā)明專(zhuān)利]攝像裝置、其制造方法及電子設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980060662.9
• 申請(qǐng)日: 2019-09-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112703598A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山崎舜平;池田隆之;掛端哲彌;德丸亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/144
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/144;G02B5/22;H01L21/02;H01L27/146;H01L29/786;H04N5/33
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 宋俊寅

提供一種適合檢測(cè)紅外光的攝像裝置。本發(fā)明是一種攝像裝置，其中依次層疊第一層、第二層、第三層、第四層，第一層包括紅外透射濾波器，第二層包含單晶硅，第三層包括器件形成層，第四層包括支撐襯底，第二層包括將單晶硅用作光吸收層的光電轉(zhuǎn)換器件，第三層包括在溝道形成區(qū)域包含金屬氧化物的晶體管，光電轉(zhuǎn)換器件與晶體管電連接，光電轉(zhuǎn)換器件接收透過(guò)紅外透射濾波器的光。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的一個(gè)方式涉及一種攝像裝置。

注意，本發(fā)明的一個(gè)方式不局限于上述技術(shù)領(lǐng)域。本說(shuō)明書(shū)等所公開(kāi)的發(fā)明的一個(gè)方式的技術(shù)領(lǐng)域涉及一種物體、方法或制造方法。另外，本發(fā)明的一個(gè)方式涉及一種程序(process)、機(jī)器(machine)、產(chǎn)品(manufacture)或者組合物(composition of matter)。因此，更具體而言，作為本說(shuō)明書(shū)所公開(kāi)的本發(fā)明的一個(gè)方式的技術(shù)領(lǐng)域的例子，可以舉出半導(dǎo)體裝置、顯示裝置、液晶顯示裝置、發(fā)光裝置、照明裝置、蓄電裝置、存儲(chǔ)裝置、攝像裝置、它們的驅(qū)動(dòng)方法或者它們的制造方法。

注意，在本說(shuō)明書(shū)等中，半導(dǎo)體裝置是指能夠通過(guò)利用半導(dǎo)體特性而工作的所有裝置。晶體管、半導(dǎo)體電路為半導(dǎo)體裝置的一個(gè)方式。另外，存儲(chǔ)裝置、顯示裝置、攝像裝置、電子設(shè)備有時(shí)包括半導(dǎo)體裝置。

背景技術(shù)

使用形成在襯底上的氧化物半導(dǎo)體薄膜構(gòu)成晶體管的技術(shù)受到關(guān)注。例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)了將包括氧化物半導(dǎo)體的關(guān)態(tài)電流極低的晶體管用于像素電路的結(jié)構(gòu)的攝像裝置。

[先行技術(shù)文獻(xiàn)]

[專(zhuān)利文獻(xiàn)]

[專(zhuān)利文獻(xiàn)1]日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第2011-119711號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

攝像裝置不僅用于使可見(jiàn)光成像的單元而且用于各種用途。例如，用于個(gè)人識(shí)別、缺陷分析、醫(yī)療診斷、安全領(lǐng)域等用途。在這些用途中除了可見(jiàn)光以外根據(jù)用途選擇適當(dāng)?shù)腦射線等短波長(zhǎng)的光、紅外光等長(zhǎng)波長(zhǎng)的光等。

本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種適合檢測(cè)紅外光的攝像裝置。本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種適合生物識(shí)別的攝像裝置。本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種適合動(dòng)態(tài)攝像的攝像裝置。此外，本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種上述攝像裝置的制造方法。

本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種低功耗的攝像裝置。本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種高可靠性的攝像裝置。本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種小型的攝像裝置。本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種新穎的攝像裝置。本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種上述攝像裝置的工作方法。此外，本發(fā)明的一個(gè)方式的目的之一是提供一種新穎的半導(dǎo)體裝置等。

注意，這些目的的記載并不妨礙其他目的的存在。注意，本發(fā)明的一個(gè)方式并不需要實(shí)現(xiàn)所有上述目的。可以從說(shuō)明書(shū)、附圖、權(quán)利要求書(shū)等的記載得知并抽出上述以外的目的。

解決技術(shù)問(wèn)題的手段

本發(fā)明的一個(gè)方式是一種攝像裝置及其制造方法，其中在攝像器件中包含單晶硅，在構(gòu)成電路的晶體管的溝道形成區(qū)域包含金屬氧化物。

本發(fā)明的一個(gè)方式是一種包括單晶硅襯底以及支撐襯底的攝像裝置的制造方法，包括如下步驟：在單晶硅襯底的第一面一側(cè)設(shè)置與單晶硅襯底的導(dǎo)電型相反的導(dǎo)電型的區(qū)域來(lái)形成光電轉(zhuǎn)換器件；在光電轉(zhuǎn)換器件上形成在溝道形成區(qū)域包含金屬氧化物且與光電轉(zhuǎn)換器件電連接的晶體管；在晶體管上形成第一絕緣層；在支撐襯底上形成第二絕緣層；使第一絕緣層的表面與第二絕緣層的表面結(jié)合；以及對(duì)與單晶硅襯底的第一面相對(duì)的面進(jìn)行研磨以及拋光來(lái)使光電轉(zhuǎn)換器件的光吸收層薄層化。