[發明專利]柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及光學部件的制造方法

有效

• 申請號: 201980060456.8
• 申請日: 2019-08-20
• 公開（公告）號: CN112739517B
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 桑原耕治
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: B29C33/38
• 分類號: B29C33/38;B29C59/02;B29C59/04;G02B1/118;G02B5/18
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

一種卷成無接頭環狀的柔性模具用的基材(1)，其具備中間片(2)、在中間片(2)的兩側的主表面上分別隔著第一和第二粘接層(4)、(6)粘接的第一和第二樹脂片(3)、(5)。中間片(2)具備在卷取方向的一端部和另一端部分別配置的樹脂制的第一和第二間隔片(7)、(8)、和在這些間隔片(7)、(8)之間配置的玻璃片(9)。

技術領域

本發明涉及柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及使用柔性模具的光學部件的制造方法。

背景技術

例如在光學器件的制造工序等中，有時使用具有能夠彎曲變形的撓性的柔性模具。作為制造柔性模具的方法之一，有壓印法。壓印法中，在母模與基材之間夾著成形材料，在基材之上形成轉印有母模的凹凸圖案的凹凸層。由此，可以得到具備基材和凹凸層的柔性模具。

作為柔性模具用的基材，例如專利文獻1中公開那樣，有為了減小伴隨溫度變化的柔性模具的尺寸變化而具備玻璃片的基材。另外，若僅由玻璃片構成基材則容易發生破裂等，因此在該文獻中公開了一種在玻璃片的一側的主表面形成有樹脂層的基材。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2015/037601號

發明內容

發明要解決的問題

專利文獻1中公開的柔性模具用的基材中，僅在玻璃片的一側的主表面形成有樹脂層，因此在其它部件接觸玻璃片的另一主表面側的情況下，玻璃片有可能破損。

另外，有時柔性模具被卷成環形帶或卷等無接頭環狀來利用。假如使用專利文獻1中公開的基材來構成這樣的柔性模具，則在卷成無接頭環狀的狀態下，卷取方向上的玻璃片的一端面與另一端面相互接觸。因此，在柔性模具的制造工序、使用柔性模具的制品的制造工序中，有可能以卷取方向上的玻璃片的端面為起點，玻璃片發生破損。

若像上述那樣，基材的玻璃片發生破損，則不僅導致柔性模具的破損，而且在制造柔性模具的工序、使用柔性模具制造光學部件(例如光學器件等)的工序中，還可能成為產生玻璃碎片(包含玻璃粉)而污染周圍環境的原因。

本發明的課題在于，在制造柔性模具的工序和/或使用所制造的柔性模具制造光學部件的工序中，可靠地減少玻璃片的破損。

用于解決問題的手段

為了解決上述課題而創造的本發明的特征在于，是具備基材和在基材之上形成的凹凸層并卷成無接頭環狀的柔性模具的制造方法，包括以基材與母模之間夾著成形材料，在基材之上形成轉印有母模的凹凸圖案的凹凸層的轉印工序，基材具備中間片、和在中間片的兩側的主表面上分別隔著粘接層粘接的樹脂片，中間片具備在卷取方向的一端部和另一端部分別配置的樹脂制的間隔片、和在兩個間隔片之間配置的玻璃片。如此一來，包含玻璃片的中間片的兩側的主表面被樹脂片保護，因此玻璃片難以破損。另外，即使萬一玻璃片發生破損，玻璃碎片也會留在樹脂片之間等而難以飛散到周圍。此外，在包含玻璃片的中間片的卷取方向的一端部和另一端部分別配置有樹脂制的間隔片，因此在將柔性模具卷成無接頭環狀的狀態下，玻璃片的卷取方向的兩端面彼此不會直接接觸。因此，能夠防止由于玻璃片的卷取方向的兩端面彼此的接觸而玻璃片發生破損。

在此，若按照上述這樣配置間隔片，則與不配置間隔片的情況相比，在對應于玻璃片的部分和對應于間隔片的部分，中間片的厚度不容易變動。因此，能夠防止在將制造的柔性模具卷成無接頭環狀后位于外側的樹脂片中形成高低差。因此，憑借卷成無接頭環狀的柔性模具，還具有能夠向制品高精度地轉印凹凸圖案、或者該轉印工序的作業性變得良好等優點。

上述構成中，優選與卷取方向正交的寬度方向上的玻璃片的端面被粘接層覆蓋。如此一來，玻璃片的寬度方向端面被粘接層保護，因此難以在玻璃片的寬度方向端面發生破損。另外，即使萬一發生破損，玻璃碎片也難以飛散到周圍。