[發明專利]在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法及裝置

在審

• 申請號: 201980059619.0
• 申請日: 2019-07-11
• 公開（公告）號: CN112672810A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 白光鉉;周元泰;張潤相
• 申請（專利權）人: 普拉斯尼克斯
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32;H01J37/32
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 呂琳;田英愛

1.一種在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

包括如下步驟：

在進行目標氣體的轉化的轉化區域生成等離子體；

第一電離能作為低于10eV的元素，將含有促進目標氣體的轉化的轉化促進元素的轉化促進劑供應至轉化區域；

與目標氣體的解離產物結合而抑制再結合為目標氣體，并將轉化為轉化產物的轉化劑供應至轉化區域；

將含有目標氣體的排放氣體供應至轉化區域。

2.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

轉化促進元素的過量比低于1。

3.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

轉化劑的過量比超過1。

4.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

在轉化區域內，轉化促進元素的摩爾分數為0.1～10000ppm。

5.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

在轉化區域內，轉化促進元素的摩爾分數為1～1000ppm。

6.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

轉化促進元素是指從由堿金屬和堿土金屬構成的群中選擇的至少任一個。

7.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

轉化促進元素為鋰、鈉、鉀、銫中至少任一個。

8.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

轉化促進劑是指從由金屬、化合物、合金、金屬間化合物、礦物構成的群中選擇的至少任一個。

9.根據權利要求8所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

化合物是指由氫氧化物、硝酸鹽、亞硝酸鹽、碳酸鹽、碳酸氫鹽、過碳酸鹽、醋酸鹽、甲酸鹽、氟化物、氯化物、氯酸鹽、亞氯酸鹽、次氯酸鹽、溴化物、硼氫化物、磷酸鹽、亞磷酸鹽、次磷酸鹽、鄰苯二甲酸酯、硫酸鹽、硫化物、連二亞硫酸鹽、氨基磺酸鹽、草酸鹽、氧化物、異丙氧化物構成的群中選擇的至少任一個。

10.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

轉化劑包括將氫、氧、氮、碳中至少任一個作為轉化劑的構成元素。

11.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

轉化劑是指從由水、氫、氧、碳化氫構成的群中選擇的至少任一個。

12.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

將轉化促進劑溶解至液相的轉化劑的溶液作為供應原料使用。

13.根據權利要求12所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

液相的轉化劑為水。

14.根據權利要求1所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

還包括如下步驟：

在將含有目標氣體的排放氣體供應至轉化區域之前預熱。

15.根據權利要求14所述的在等離子體相處理含有目標氣體的排放氣體的方法，其特征在于，

在通過轉化區域之后，將在物質殘留的廢熱通過熱交換方式回收而用于預熱。