[發明專利]檢測生產設備和表面上的納米粒子

在審

• 申請號: 201980057666.1
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN112639444A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 布萊恩·A·諾倫伯格;丹尼爾·羅伯特·羅迪耶
• 申請（專利權）人: 粒子監測系統有限公司
• 主分類號: G01N21/00
• 分類號: G01N21/00;G01N1/24;G01N15/00;G01N15/06;G01N15/14;G01N1/00
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 劉曄;葛強

1.一種用于去除和檢測表面上的粒子的裝置，包括：

粒子分析器，其具有入口；

樣品探針，其具有采樣端口，其中，所述采樣端口通過流動路徑流體地連接到所述入口；

噴射系統，其能夠操作地連接到所述樣品探針，其中，所述噴射系統被配置為將物質、能量或物質與能量的組合引導到所述表面上，以從所述表面驅逐所述粒子；以及

真空系統，其能夠操作地連接到所述采樣端口，其中，所述真空系統被配置為迫使在接近于所述樣品探針的收集區域中的被驅逐的所述粒子通過所述采樣端口、沿著所述流動路徑并且在所述入口處進入所述粒子分析器中。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述粒子分析器是非光學粒子計數器。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述粒子分析器是光學粒子計數器。

4.根據權利要求3所述的裝置，其中，所述光學粒子計數器是凝結粒子計數器。

5.根據權利要求4所述的裝置，其中，所述凝結粒子計數器的所述入口引入包含要分析的被驅逐的所述粒子的樣品流，其中，所述凝結粒子計數器包括：

冷凝物貯存器；

飽和器，其與所述冷凝物貯存器流體連通，用于將冷凝物引入到所述樣品流中；

冷凝器，其與所述飽和器流體連通，用于將所述冷凝物冷凝到包含在所述樣品流中的被驅逐的所述粒子上；并且

其中，所述粒子計數器入口與所述冷凝器流體連通，用于檢測或表征所述樣品流中的冷凝的被驅逐的所述粒子。

6.根據權利要求5所述的裝置，其中，所述冷凝物是水、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、甘油、乙二醇、二甘醇、丙二醇或其組合。

7.根據權利要求4至6中任一項所述的裝置，其中，所述凝結粒子計數器檢測有效直徑小于或等于100nm的粒子。

8.根據權利要求4至7中任一項所述的裝置，其中，所述裝置是便攜式的，總質量小于20kg。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的裝置，其中，所述粒子分析器具有差分光學檢測器，所述差分光學檢測器包括：多個光學檢測器，各個光學檢測器空間映射到與所述粒子分析器中的被驅逐的所述粒子相互作用的光束的不同部分。

10.根據權利要求9所述的裝置，其中，所述光束的至少一部分通過包含被驅逐的所述粒子的流動池并被引導到所述多個光學檢測器上。

11.根據權利要求9至10中任一項所述的裝置，其中，所述光學檢測器各自被空間映射到所述光束的不重疊的部分。

12.根據權利要求9至11中任一項所述的裝置，其中，所述光學檢測器被配置用于差分檢測。

13.根據權利要求9至12中任一項所述的裝置，其中，所述光學檢測器被配置用于分裂束檢測差分檢測。

14.根據權利要求9至13中任一項所述的裝置，其中，所述光束是高斯束。

15.根據權利要求9至13中任一項所述的裝置，其中，所述光束是非高斯束。

16.根據權利要求9至13中任一項所述的裝置，其中，所述光束是結構化束。

17.根據權利要求9至13中任一項所述的裝置，其中，所述光束是干涉束。

18.根據權利要求1至17中任一項所述的裝置，其中，所述噴射系統將激勵物質引導至所述表面。