[發明專利]突狀構造體、襯底、其制造方法、及發光元件

在審

• 申請號: 201980056762.4
• 申請日: 2019-09-12
• 公開（公告）號: CN112602201A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 大纮太郎;篠塚啟
• 申請（專利權）人: 王子控股株式會社
• 主分類號: H01L33/22
• 分類號: H01L33/22;H01L33/32
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉媛媛

本發明的突狀構造體(1)包含無機材料，區分為圓頂部(5)、及位于圓頂部(5)之下的基礎部(7)，且圓頂部(5)的表面具有以100～1000nm的平均間距排列有多個凸部(5a)的微細凹凸構造，圓頂部(5)的高度(L₁)相對于圓頂部(5)的寬度(W₁)的比為0.25～0.6，基礎部(7)的側面(7a)相對于高度方向的傾斜角(θ)為0度以上且低于21度，將突狀構造體(1)在高度方向上進行16分割時的每1區隔的傾斜角(θ)的變化量低于10度，基礎部(7)的高度(L₂)相對于基礎部(7)的寬度(W)的比為0.1～0.25，基礎部(7)的寬度W(nm)相對于微細凹凸構造的平均間距(nm)的比為3～60。

技術領域

本發明涉及一種突狀構造體、襯底、其制造方法、及發光元件。

本申請案主張基于2018年9月14日在日本提出申請的日本專利特愿2018-172847號的優先權，并將其內容援引至此。

背景技術

用于發光二極管等的半導體發光元件通常以透明樹脂制密封材(透鏡等)密封。密封材有時具有提高光提取效率的功能。

半導體發光元件中，發出紫外線區域的光的發光元件因紫外線較高的光能而用于各種領域。特別是深紫外線(DUV)區域的光，具有較強的殺菌作用，期待在醫療領域等用于病毒的殺菌等。

但發光元件存在光提取效率低的問題。此外，由于作為有機材料的密封材容易因紫外線而劣化，故不期望將通過密封材提高光提取效率的方法應用于發光元件。

作為能夠提高半導體發光元件的光提取效率的半導體發光元件用襯底，提出以下者。

·一種半導體發光元件用襯底，其具有供形成包含半導體層的發光構造體的發光構造體形成面，且所述發光構造體形成面具備平坦部、從所述平坦部突出的多個大徑突部、及多個小徑突部，所述多個小徑突部中的至少一部分從所述大徑突部的外表面突出(專利文獻1)。

[背景技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2015/053363號

發明內容

[發明所要解決的問題]

專利文獻1的半導體發光元件用襯底包含無機材料，故不容易因紫外線區域的光而劣化。但具備專利文獻1的半導體發光元件用襯底、及半導體層的發光元件存在紫外線區域的光提取角度窄的問題。

另外，專利文獻1中并未記載將大徑突部及多個小徑突部形成在襯底的光提取面。

本發明的目的在于：提供一種獲得不容易因紫外線區域的光而劣化且光提取效率及光提取角度優異的發光元件的突狀構造體及襯底、所述襯底的制造方法及使用所述襯底的發光元件。

[解決問題的技術手段]

本發明具有以下態樣。

[1]一種突狀構造體，包含無機材料，

區分為圓頂部、及位在所述圓頂部之下的基礎部，且

所述圓頂部的表面具有以100～1000nm的平均間距排列有多個凸部的微細凹凸構造，

所述圓頂部的高度(nm)相對于所述圓頂部的寬度(nm)的比為0.25～0.6，

所述基礎部的側面相對于高度方向的傾斜角為0度以上且低于21度，將所述突狀構造體在高度方向上進行16分割時的每1區隔的所述傾斜角的變化量低于10度，

所述基礎部的高度(nm)相對于所述基礎部的寬度(nm)的比為0.1～0.25，