[發明專利]緊湊型對準傳感器布置

在審

• 申請號: 201980056601.5
• 申請日: 2019-08-22
• 公開（公告）號: CN112639624A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: T·M·T·A·M·埃拉扎里;J·L·克勒澤;F·G·C·比基恩;K·肖梅
• 申請（專利權）人: ASML控股股份有限公司;ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G02B6/12
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張啟程

1.一種用于感測包括在襯底上的光柵的對準圖案的設備，所述設備包括：

至少一個光源，用于生成第一相干輻射束和第二相干輻射束，所述第一相干輻射束從第一角度照射所述光柵的一部分，所述第二相干輻射束從第二角度照射所述光柵的所述部分，所述第一相干輻射束和第二相干輻射束被所述光柵的所述部分衍射；以及

多模干涉裝置，包括：

第一輸入端口，被布置為接收由所述光柵部分來衍射的所述第一相干輻射束的正衍射階和所述第二相干輻射束的正衍射階；

第二輸入端口，被布置為接收由所述光柵部分來衍射的所述第一相干輻射束的負衍射階和所述第二相干輻射束的負衍射階；

第一輸出端口，被布置為輸出第一空間疊置圖像，所述第一空間疊置圖像包括被所述第一相干輻射束照射的所述光柵部分的圖像和被所述第二相干輻射束照射的所述光柵部分的鏡像；和

第二輸出端口，被布置為輸出第二空間疊置圖像，所述第二空間疊置圖像包括被所述第二相干輻射束照射的所述光柵部分的圖像和被所述第一相干輻射束照射的所述光柵部分的鏡像。

2.如權利要求1所述的設備，還包括：

第一檢測器，被布置為接收所述第一空間疊置圖像，并生成指示所述第一空間疊置圖像的強度的第一信號；以及

第二檢測器，被布置為接收所述第二空間疊置圖像，并生成指示所述第二空間疊置圖像的強度的第二信號。

3.如權利要求2所述的設備，還包括處理器，所述處理器被布置為接收所述第一信號和所述第二信號，并且被配置為至少部分地基于所述第一信號和所述第二信號確定所述光柵的所述部分的特性。

4.一種用于感測包括在襯底上的光柵的對準圖案的設備，所述設備包括：

至少一個光源，用于生成第一相干輻射束和第二相干輻射束，所述第一相干輻射束從第一角度照射所述光柵的一部分，所述第二相干輻射束從第二角度照射所述光柵的所述部分，所述第一相干輻射束和第二相干輻射束被所述光柵的所述部分衍射；以及

多個多模干涉裝置，所述多模干涉裝置中的每一個與所述光柵部分的對應段相鄰地布置并且包括

第一輸入端口，被布置為接收由所述光柵部分的對應段衍射的所述第一相干輻射束的正衍射階和所述第二相干輻射束的正衍射階；

第二輸入端口，被布置為接收由所述光柵部分的對應段衍射的所述第一相干輻射束的負衍射階和所述第二相干輻射束的負衍射階；

第一輸出端口，被布置為輸出第一空間疊置圖像，所述第一空間疊置圖像包括被所述第一相干輻射束照射的所述光柵部分的段的圖像和被所述第二相干輻射束照射的所述光柵部分的段的鏡像；和

第二輸出端口，被布置為輸出第二空間疊置圖像，所述第二空間疊置圖像包括被所述第二相干輻射束照射的所述光柵部分的段的圖像和被所述第一相干輻射束照射的所述光柵部分的段的鏡像。

5.如權利要求4所述的設備，其中，所述多個多模干涉裝置被布置為與所述光柵的所述部分平行的線性陣列。

6.如權利要求4所述的設備，還包括：

多個第一檢測器，所述多個第一檢測器各自被布置為接收所述第一空間疊置圖像，并生成指示所述第一空間疊置圖像的強度的第一信號；以及

多個第二檢測器，所述多個第二檢測器各自被布置為接收所述第二空間疊置圖像，并生成指示所述第二空間疊置圖像的強度的第二信號。

7.如權利要求6所述的設備，還包括處理器，所述處理器被布置為接收所述第一信號和所述第二信號，并且被配置為至少部分地基于所述第一信號和所述第二信號確定所述光柵的所述部分的特性。