[發明專利]感光性樹脂組合物、固化膜、層疊體、固化膜的制造方法、半導體元件及熱產堿劑

在審

• 申請號: 201980056004.2
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN112639615A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 野崎敦靖
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;C08F290/14;G03F7/027
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 薛海蛟

1.一種感光性樹脂組合物，其包含：

由下述式(N1)表示的熱產堿劑、以及

聚酰亞胺前體及聚苯并噁唑前體中的至少一種前體化合物；

式(N1)中，

X^N表示羥基、羧基及磺酸基中的任一種，

Z^N表示氧原子或硫原子，

R^N1及R^N2分別獨立地表示氫原子或碳原子數1～20的烴基，

L^N為從相鄰氮原子連結至X^N為止的3價烴基，且表示構成連結鏈的原子數為2～6的烴基，

*分別獨立地表示氫原子或1價有機基團。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，

所述式(N1)中，L^N中的連結鏈的至少一部分為亞芳基的一部分。

3.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，

所述熱產堿劑為由式(N2)表示的化合物，

式(N2)中，

X^N1及X^N2分別獨立地表示羥基、羧基及磺酸基中的任一種，

Z^N1表示氧原子或硫原子，

R^N3及R^N4分別獨立地表示氫原子或碳原子數1～20的烴基，

L^N1及L^N2分別獨立地表示碳原子數1～20的烴基，

n1表示0或1，

n2表示0～10的整數，

n1及n2之和為1以上，

n3表示1以上的整數，

n1＝1時，L^N1為從相鄰氮原子連結至X^N1為止的2價烴基，且為構成連結鏈的原子數為2～6的烴基，

n2≥1時，L^N2為從相鄰氮原子連結至X^N2為止的1+n2價烴基，且為構成連結鏈的原子數為2～6的烴基。

4.根據權利要求3所述的感光性樹脂組合物，其中，

所述式(N2)中，X^N1及X^N2的合計數與Z^N1的合計數相等。

5.根據權利要求3或4所述的感光性樹脂組合物，其中，

所述式(N2)中，L^N1及L^N2中的連結鏈的至少一部分為亞芳基的一部分。

6.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，

所述熱產堿劑為包含由式(N3)表示的重復單元的高分子化合物，

式(N3)中，

X^N3表示羥基、羧基及磺酸基中的任一種，

Z^N2表示氧原子或硫原子，

R^N5及R^N6分別獨立地表示氫原子或碳原子數1～20的烴基，

L^N3為從相鄰氮原子連結至X^N3為止的3價烴基，且表示構成連結鏈的原子數為2～6的烴基。

7.根據權利要求6所述的感光性樹脂組合物，其中，

所述熱產堿劑為包含由式(N4)表示的重復單元的高分子化合物，

式(N4)中，

X^N4分別獨立地表示羥基、羧基及磺酸基中的任一種，

與Z^N2獨立地，Z^N3表示氧原子或硫原子，

與R^N5及R^N6獨立地、R^N7及R^N8分別獨立地表示氫原子或碳原子數1～20的烴基，

L^N4為從相鄰氮原子連結至X^N4為止的4價烴基，且表示構成連結鏈的原子數為2～6的烴基，

L^N5表示2價有機基團。