[發明專利]制造超聲波傳感器的方法在審
| 申請號： | 201980055688.4 | 申請日： | 2019-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN113016085A | 公開（公告）日： | 2021-06-22 |
| 發明（設計）人： | 金永圭;樸慶玉;李承晉 | 申請（專利權）人： | 株式會社BTBL |
| 主分類號： | H01L41/43 | 分類號： | H01L41/43;H01L41/09;H01L41/047;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡勝有;蘇虹 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 超聲波傳感器 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種制造超聲波傳感器的方法，包括：在可蝕刻基板上形成具有凹部和凸部的微圖案，在所述微圖案的所述凹部中填充壓電材料，對填充的壓電材料加壓，對所述壓電材料進行燒結以形成初級壓電體，對所述初級壓電體進行再燒結以形成密實的單位壓電體，以及在每個所述單位壓電體的兩端形成電極端子以產生單位壓電單元。
2.根據權利要求1所述的方法，其中通過噴灑來填充所述壓電材料的粉末。
3.根據權利要求2所述的方法，其中所述壓電材料的粉末的平均粒徑為0.1μm至10μm。
4.根據權利要求1所述的方法，其中所述加壓在200MPa至700MPa的壓力下進行。
5.根據權利要求1所述的方法，其中所述燒結在使所述壓電材料的表面熔化的溫度下進行。
6.根據權利要求1所述的方法，其中所述再燒結在使所述初級壓電體的表面熔化的溫度下進行。
7.根據權利要求1所述的方法，其中填充通過將所述壓電材料的粉末與溶劑和粘結劑混合而制備的糊料或溶液。
8.根據權利要求1所述的方法，其中所述可蝕刻基板是導電的。
9.根據權利要求8所述的方法，其中所述可蝕刻基板的一些凸部是引線電極。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社BTBL，未經株式會社BTBL許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201980055688.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
