[發明專利]減輕低表面質量

在審

• 申請號: 201980055240.2
• 申請日: 2019-07-31
• 公開（公告）號: CN112996627A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: U·埃佩爾特;L·穆勒爾斯;A·S·李
• 申請（專利權）人: 相干慕尼黑有限公司
• 主分類號: B23K26/53
• 分類號: B23K26/53;B23K26/122;B23K26/146
• 代理公司: 余姚德盛專利代理事務所(普通合伙) 33239
• 代理人: 周積德

1.對具有工件表面的工件進行激光加工的方法，該方法包括：

提供激光束，其中所述激光束具有使工件透明的波長；

提供與工件表面間隔開的蓋，其中該蓋具有位于所述工件表面近側的表面和位于所述工件表面遠側的表面，并且其中所述蓋的遠側表面的表面質量優于所述工件表面的表面質量；

在所述蓋的近側表面與所述工件表面之間提供流體并使流體與所述蓋的近側表面與所述工件表面接觸；以及

引導所述激光束穿過所述蓋，穿過所述流體，并且穿過所述工件表面。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，引導激光束包括聚焦激光束并在工件中形成缺陷。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，所述流體的折射率與所述工件的折射率匹配。

4.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述流體的折射率在所述工件的折射率與所述蓋的折射率之間。

5.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述蓋的遠側表面具有比所述工件表面的表面粗糙度低的表面粗糙度。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，所述蓋的遠側表面具有小于20埃的表面粗糙度。

7.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述蓋的遠側表面具有比所述工件表面的表面不規則度小的表面不規則度。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，所述激光束具有波長λ，并且其中，所述蓋的所述遠側表面的表面不規則度小于λ/4。

9.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述蓋的近側表面平行于所述工件表面。

10.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述激光束的光軸垂直入射到所述工件表面上。

11.根據權利要求1至9中任一項所述的方法，其中，所述激光束的光軸以非法線角入射到所述工件表面上。

12.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述蓋的近側表面和遠側表面是平行的。

13.根據權利要求1至11中任一項所述的方法，其中，所述蓋的近側表面和遠側表面相互傾斜。

14.根據權利要求13所述的方法，其中，所述蓋的近側表面平行于所述工件表面，并且其中引導所述激光束包括使所述激光束聚焦以形成在所述工件中缺陷并且使所述缺陷傾斜于所述工件表面。

15.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述蓋的遠側表面具有凸形形狀。

16.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述蓋由玻璃制成。

17.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述流體是油。

18.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，所述蓋是箔，并且所述流體是粘合劑，所述粘合劑的折射率與所述工件的折射率匹配。

19.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，引導激光束包括將激光束聚焦在工件內部的位置處。

20.根據任一前述權利要求所述的方法，其中，引導激光束還包括：引導激光束穿過工件的第二表面；以及將激光束聚焦在工件外部的位置。

21.根據任一前述權利要求所述的方法，還包括在相對于所述激光束移動所述工件的同時重復引導所述激光束，并且在所述蓋的近側表面與所述工件表面之間添加流體。