[發(fā)明專(zhuān)利]臭氧水輸送系統(tǒng)及其使用方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201980054540.9 | 申請(qǐng)日： | 2019-08-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN112601720A | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-04-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 海恩利希·賽威特;克里斯提恩·勒提克;烏爾利希·布拉莫 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | MKS儀器公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C02F1/78 | 分類(lèi)號(hào)： | C02F1/78 |
| 代理公司： | 北京寰華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11408 | 代理人： | 何尤玉;郭仁建 |
| 地址： | 美國(guó)麻*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 臭氧 輸送 系統(tǒng) 及其 使用方法 | ||
1.一種臭氧水輸送系統(tǒng)，其包括：
至少一個(gè)接觸裝置；
至少一個(gè)超純水源，所述至少一個(gè)超純水源被配置成提供超純水；
至少一個(gè)超純水導(dǎo)管，所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管耦接到所述至少一個(gè)超純水源；
至少一種溶液，所述至少一種溶液通過(guò)所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管與所述至少一個(gè)接觸裝置和所述至少一個(gè)超純水源連通；
至少一個(gè)氣體源，所述至少一個(gè)氣體源含有至少一種氣體、與所述至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管和至少一個(gè)溶液導(dǎo)管中的至少一個(gè)連通，所述至少一種氣體在與所述超純水反應(yīng)時(shí)形成至少一種溶液；
至少一個(gè)混合氣體導(dǎo)管，所述至少一個(gè)混合氣體導(dǎo)管與所述至少一個(gè)氣體源和所述至少一個(gè)接觸裝置連通，所述至少一個(gè)混合氣體導(dǎo)管被配置成向所述至少一個(gè)接觸裝置提供至少一種混合氣體；以及
至少一個(gè)臭氧水輸出導(dǎo)管，所述至少一個(gè)臭氧水輸出導(dǎo)管與所述至少一個(gè)接觸裝置連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述接觸裝置包括至少一個(gè)填充柱接觸裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述接觸裝置包括其中包含塔填料的至少一個(gè)填充柱接觸裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述接觸裝置包括其中具有至少一個(gè)膜組件的至少一個(gè)基于膜的接觸裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)氣體源被配置成向所述至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管和至少一個(gè)溶液導(dǎo)管中的至少一個(gè)提供二氧化碳，由此形成二氧化碳水溶液。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)氣體源被配置成使二氧化碳以約0.01SLPM到約0.5SLPM的流速流到至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管和至少一個(gè)溶液導(dǎo)管。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)氣體源被配置成使二氧化碳以約0.05SLPM到約0.3SLPM的流速流到至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管和至少一個(gè)溶液導(dǎo)管。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)氣體源被配置成使二氧化碳以約0.1SLPM到約0.2SLPM的流速流到至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管和至少一個(gè)溶液導(dǎo)管。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)氣體源被配置成使二氧化碳以固定的氣體流速流到至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管和至少一個(gè)溶液導(dǎo)管。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)氣體源被配置成使二氧化碳以可變的氣體流速流到至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管和至少一個(gè)溶液導(dǎo)管。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中通過(guò)所述至少一個(gè)混合氣體導(dǎo)管從所述至少一個(gè)氣體源流到所述至少一個(gè)接觸裝置的至少一種混合氣體包含氧氣、臭氧和二氧化碳。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其中通過(guò)所述至少一個(gè)混合氣體導(dǎo)管從所述至少一個(gè)氣體源流到所述至少一個(gè)接觸裝置的至少一種混合氣體可以包含選自氮?dú)狻⒍趸投趸闹辽僖环N氣體。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臭氧水輸送系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括定位在所述至少一個(gè)氣體源、所述至少一個(gè)超純水源、所述至少一個(gè)超純水導(dǎo)管、至少一個(gè)溶液導(dǎo)管、所述至少一個(gè)混合氣體導(dǎo)管、至少臭氧水出口導(dǎo)管中的至少一個(gè)上的處理器、閥、質(zhì)量流量控制器、流量傳感器、量規(guī)、指示器、流量限制器和傳感器中的至少一個(gè)。
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