[發明專利]缺陷檢查裝置、缺陷檢查方法及其程序

在審

• 申請號: 201980053565.7
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN112567229A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 池田泰之;栗田真嗣
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G06T7/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種缺陷檢查裝置，包括：

獲取部，獲取檢查對象物的檢查圖像；

圖像生成部，通過對所述檢查圖像適用以使用學習用的圖像數據提取一個以上的特征的方式進行了事先學習的已學習識別器，而生成一個以上的特征提取圖像；

檢查部，基于用以判定所述檢查對象物中有無缺陷的一個以上的判定用參數及以所述特征提取圖像而生成的二值化圖像來確定與缺陷對應的區域；以及

設定部，在基于已事先學習的所述特征來確定與缺陷對應的區域的情況下，當與所述特征對應的學習用的圖像數據的數未滿閾值時，以來自用戶的事后調整為前提而臨時設定所述判定用參數，在基于已事先學習的所述特征以外的特征來確定與缺陷對應的區域的情況下，根據來自用戶的指定來設定所述判定用參數。

2.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其中，

在基于已事先學習的所述特征來確定與缺陷對應的區域的情況下，當與所述特征對應的學習用的圖像數據的數為閾值以上時，所述設定部自動設定所述判定用參數。

3.根據權利要求1或2所述的缺陷檢查裝置，其中，

所述設定部使用確定了與缺陷對應的所述區域的所述二值化圖像即設定用圖像，算出基于所述設定用圖像的像素的顏色的濃度的圖像得分，并以使所述區域的內部的圖像得分與所述區域的外部的圖像得分之差相對變大的方式更新所述判定用參數。

4.根據權利要求3所述的缺陷檢查裝置，其中，

所述二值化圖像包括白色的像素及黑色的像素，

對所述白色的像素與所述黑色的像素分別對應有濃度值，

所述設定部針對所述區域內所含的多個像素，算出所述濃度值的合計值作為第1圖像得分，針對所述區域外所含的多個像素，算出所述濃度值的合計值作為第2圖像得分，并以使所述第1圖像得分與所述第2圖像得分之差成為最大的方式更新所述判定用參數。

5.根據權利要求3或4所述的缺陷檢查裝置，其中，

所述檢查部基于更新后的所述判定用參數及所述二值化圖像來判定有無缺陷，并輸出判定結果。

6.根據權利要求5所述的缺陷檢查裝置，其中，

所述檢查部至少輸出基于更新后的所述判定用參數而確定了缺陷的所述二值化圖像，以作為所述判定結果。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的缺陷檢查裝置，其中，

所述判定用參數包括用以生成所述二值化圖像的二值化等級。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的缺陷檢查裝置，其中，

所述判定用參數包括用以判定所述缺陷的一個以上的判定項目以及針對所述判定項目的各者而設定的判定閾值。

9.根據權利要求8所述的缺陷檢查裝置，其中，

用以判定所述缺陷的一個以上的所述判定項目包括所述二值化圖像中以同色的像素塊表現的規定的區域的面積、外切矩形的寬度和/或高度、周長、縱橫比、圓形度中的至少一者，所述判定閾值包括針對這些判定項目的各者而設定的上限值和/或下限值。

10.根據權利要求8或9所述的缺陷檢查裝置，其中，

所述判定項目及所述判定閾值是基于所述圖像生成部或所述檢查部的學習時所使用的學習用的圖像數據中所含的缺陷的特征而決定。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的缺陷檢查裝置，其還包括顯示部，

所述顯示部受理所述區域的指定，

所述檢查部基于預定的所述判定用參數來確定要被判定為缺陷的區域，并且將確定出的區域與所述檢查圖像一起輸出至所述顯示部，

所述設定部基于經由所述顯示部而受理到的所述區域的指定來生成所述設定用圖像。